作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题[问题] Pyrex蚀刻与蒸镀
时间Wed Jun 18 15:33:13 2008
各位高手们好,
我目前研究上想要用Si制作一个类似加速计的结构,
然後再把此结构用阳极接合的方式和Pyrex接在一起,
Pyrex上面有电极, 通电後产生pull-in的效果,
但是我并不希望结构直接接触到电极,
所以需要做两次的蚀刻, 架构如下图:
▃▃▃▃▃▃▃▃ Si
█▅
▁▁ ▅█
Au
████████ Pyrex
现在比较担心的是,如果用RIE或是HF来蚀刻凹槽,
表面是否可以平整? 蚀刻後的表面是否还可镀上金属?
不知是否有人做过类似的元件,可否给我一点建议,
谢谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
※ 编辑: Ice98 来自: 140.112.14.214 (06/18 15:35)
1F：推 rezenik:RIE後金属应该可以镀的上 HF吃会有波纹状 会比较不平 06/18 16:15
2F：推 tzjwinfcha:玻璃经蚀刻後好像会不平喔 06/18 20:12
3F：→ tzjwinfcha:原本也是想做类似的结构，但被否决 06/18 20:12
4F：推 jace:有试试看BOE蚀刻时加一些酸(HCl等等)缓冲吗? 06/19 14:54