作者forceout (forceout)
看板NEMS
標題衝人氣
時間Mon Jun 16 03:52:12 2008
其實是來問問題的
蝕刻完後晶格面的角度 or 其他幾合形狀
怎麼量測角度?例如54.7±?
(尺寸亦同)
二維的東西要量測還蠻容易的
但是三維就會碰到視角的問題
三微的資訊主要來自
wyko(老師規定要說干涉儀 囧)
AFM
α-step?
曾經想利用wyko的平面影像以及縱深的數據透過三角函數換算
但是wyko的平面解析度不高.失敗
請問有什麼儀器能夠直接量測角度?
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.213.92
1F：推 CMOSMEMS:是群哥! FIB一切 SEM一照 就有了 06/16 04:06
2F：推 savior:你想看的feature size有多大呢? 例如cavity的最大寬度是? 06/16 07:00
3F：推 tzjwinfcha:SEM+1 06/17 21:00
4F：→ forceout:SEM一樣會有視角問題 06/17 22:58
5F：→ forceout:一樓是屁博 06/17 22:59
6F：→ tzjwinfcha:可以把結構切剖面來量測呀，看cross-section 06/18 20:16
7F：→ tzjwinfcha:之前實驗是這樣子做的 06/18 20:17