作者forceout (forceout)
看板NEMS
标题冲人气
时间Mon Jun 16 03:52:12 2008
其实是来问问题的
蚀刻完後晶格面的角度 or 其他几合形状
怎麽量测角度?例如54.7±?
(尺寸亦同)
二维的东西要量测还蛮容易的
但是三维就会碰到视角的问题
三微的资讯主要来自
wyko(老师规定要说干涉仪 囧)
AFM
α-step?
曾经想利用wyko的平面影像以及纵深的数据透过三角函数换算
但是wyko的平面解析度不高.失败
请问有什麽仪器能够直接量测角度?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.213.92
1F：推 CMOSMEMS:是群哥! FIB一切 SEM一照 就有了 06/16 04:06
2F：推 savior:你想看的feature size有多大呢? 例如cavity的最大宽度是? 06/16 07:00
3F：推 tzjwinfcha:SEM+1 06/17 21:00
4F：→ forceout:SEM一样会有视角问题 06/17 22:58
5F：→ forceout:一楼是屁博 06/17 22:59
6F：→ tzjwinfcha:可以把结构切剖面来量测呀，看cross-section 06/18 20:16
7F：→ tzjwinfcha:之前实验是这样子做的 06/18 20:17