作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題Re: [問題] 關於lift-off
時間Mon Jun 9 22:33:11 2008
※ 引述《namicha (迷途小書僮)》之銘言：
: 小弟最近在做lift-off
: 一直遇到問題
: 先說一下我的製程
: 我使用蒸鍍的方法
: 底材是載玻片
: 鍍的金屬是黃金 Cr當黏著層
: 是要當做導線之用 線寬是300micron
: 每次鍍500A 總共鍍了2000A
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為何要分這麼多次??
: 在lift-off的時候
: 我泡完丙酮有稍微用水彩筆刷一下
: 可是黃金很容易掉落
: 每次看到pattern不見
: 一整個就是欲哭無淚啊
: 不知道各位先進
: 可以建議一下怎樣比較容易成功嗎？
: 還是改用其他金屬當導線會比較好呢？
: 先感謝各位了～
載玻片買來時 先拿去泡洗碗精
沖水吹乾後再丟硫酸+雙氧水清洗
黏著層鍍Ti或Cr都可以(我都鍍200A左右)
然後在不破真空的情況下直接鍍上2000A的Au
我lift-off都直接泡丙酮打超音波
pattern很少有脫落的情形
可以參考看看
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◆ From: 123.204.7.87
※ 編輯: Ice98 來自: 123.204.7.87 (06/09 22:42)
1F：推 namicha:分很多次是為了不讓腔體溫度過高 /所以就是晶片潔淨度也會 06/09 22:55
2F：→ namicha:影響蒸鍍品質吧..@@ 06/09 22:56
3F：→ Ice98:喔喔 抱歉忘了chamber溫度的因素 可能是我的鍍率是慢慢從 06/10 09:09
4F：→ Ice98:0.5A/s增加到2.0A/s 所以鍍到2000A通常都不需要降溫 06/10 09:11