作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题Re: [问题] 关於lift-off
时间Mon Jun 9 22:33:11 2008
※ 引述《namicha (迷途小书僮)》之铭言：
: 小弟最近在做lift-off
: 一直遇到问题
: 先说一下我的制程
: 我使用蒸镀的方法
: 底材是载玻片
: 镀的金属是黄金 Cr当黏着层
: 是要当做导线之用 线宽是300micron
: 每次镀500A 总共镀了2000A
^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^
为何要分这麽多次??
: 在lift-off的时候
: 我泡完丙酮有稍微用水彩笔刷一下
: 可是黄金很容易掉落
: 每次看到pattern不见
: 一整个就是欲哭无泪啊
: 不知道各位先进
: 可以建议一下怎样比较容易成功吗？
: 还是改用其他金属当导线会比较好呢？
: 先感谢各位了～
载玻片买来时 先拿去泡洗碗精
冲水吹乾後再丢硫酸+双氧水清洗
黏着层镀Ti或Cr都可以(我都镀200A左右)
然後在不破真空的情况下直接镀上2000A的Au
我lift-off都直接泡丙酮打超音波
pattern很少有脱落的情形
可以参考看看
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 123.204.7.87
※ 编辑: Ice98 来自: 123.204.7.87 (06/09 22:42)
1F：推 namicha:分很多次是为了不让腔体温度过高 /所以就是晶片洁净度也会 06/09 22:55
2F：→ namicha:影响蒸镀品质吧..@@ 06/09 22:56
3F：→ Ice98:喔喔 抱歉忘了chamber温度的因素 可能是我的镀率是慢慢从 06/10 09:09
4F：→ Ice98:0.5A/s增加到2.0A/s 所以镀到2000A通常都不需要降温 06/10 09:11