作者namicha (迷途小書僮)
看板NEMS
標題[問題] 關於lift-off
時間Mon Jun 9 20:26:57 2008
小弟最近在做lift-off
一直遇到問題
先說一下我的製程
我使用蒸鍍的方法
底材是載玻片
鍍的金屬是黃金 Cr當黏著層
是要當做導線之用 線寬是300micron
每次鍍500A 總共鍍了2000A
在lift-off的時候
我泡完丙酮有稍微用水彩筆刷一下
可是黃金很容易掉落
每次看到pattern不見
一整個就是欲哭無淚啊
不知道各位先進
可以建議一下怎樣比較容易成功嗎？
還是改用其他金屬當導線會比較好呢？
先感謝各位了～
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.201.61
1F：推 warpop:鍍Cu 之前Lab有人也是度在玻璃片上 不容易掉 06/09 21:47
2F：推 oactioner:1.應該是用az定義吧要先確定有顯影乾淨 06/09 22:40
3F：→ oactioner:打ebeam速度太快約0.7A/S 然後到90度停 等降溫後繼續打 06/09 22:41
4F：→ oactioner:一直重複累計到你要的厚度 參考看看 06/09 22:41
5F：推 skyslee:微奈米的舊E-beam有點問題...要不要換新E-beam? 06/09 22:43
6F：→ namicha:給樓上 我沒有認證新e-beam @@ 06/09 22:44
7F：推 oactioner:呵 機台也是佔很大的因素 微奈米中心的..... 06/09 22:47
8F：→ skyslee:我們之前舊E-beam也是跟你同樣問題,新E-beam不會 06/09 23:11