作者namicha (迷途小书僮)
看板NEMS
标题[问题] 关於lift-off
时间Mon Jun 9 20:26:57 2008
小弟最近在做lift-off
一直遇到问题
先说一下我的制程
我使用蒸镀的方法
底材是载玻片
镀的金属是黄金 Cr当黏着层
是要当做导线之用 线宽是300micron
每次镀500A 总共镀了2000A
在lift-off的时候
我泡完丙酮有稍微用水彩笔刷一下
可是黄金很容易掉落
每次看到pattern不见
一整个就是欲哭无泪啊
不知道各位先进
可以建议一下怎样比较容易成功吗？
还是改用其他金属当导线会比较好呢？
先感谢各位了～
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.116.201.61
1F：推 warpop:镀Cu 之前Lab有人也是度在玻璃片上 不容易掉 06/09 21:47
2F：推 oactioner:1.应该是用az定义吧要先确定有显影乾净 06/09 22:40
3F：→ oactioner:打ebeam速度太快约0.7A/S 然後到90度停 等降温後继续打 06/09 22:41
4F：→ oactioner:一直重复累计到你要的厚度 参考看看 06/09 22:41
5F：推 skyslee:微奈米的旧E-beam有点问题...要不要换新E-beam? 06/09 22:43
6F：→ namicha:给楼上 我没有认证新e-beam @@ 06/09 22:44
7F：推 oactioner:呵 机台也是占很大的因素 微奈米中心的..... 06/09 22:47
8F：→ skyslee:我们之前旧E-beam也是跟你同样问题,新E-beam不会 06/09 23:11