作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
標題[問題] 表面輪廓量測
時間Sun Jun 8 22:44:35 2008
請問一下諸位板友
因為實驗上要量測整個元件的平面傾斜狀況
所以需要像ZYGO Optical Profiler這種光學式表面輪廓儀
不知各位是否知道國內有哪個實驗室有類似的儀器
感激不盡!~
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
2F：→ Ice98:Many thanks for your message ^^ 06/09 00:35
3F：推 forceout:zygo...應該不是這樣用的吧? 06/09 16:45
4F：→ Ice98:疑...我看很多paper都是用ZYGO在量的ㄚ @.@a 06/09 17:06
5F：推 savior:WYKO應該比較常見? 台大應力所裡面就可以用了 06/09 23:56
6F：推 forceout:我知道的ZYGO應該是量測光學品質,不過ZYGO應該是廠牌 06/10 03:27
7F：→ forceout:可能有別的系列. 我們用wyko(也是廠牌吧!) 06/10 03:27
8F：→ Ice98:感謝!~ 請問應力所哪個group有WYKO呢 06/10 09:07
9F：推 savior:請愛用google... 06/10 11:56
10F：→ savior:因為我也不在台大 只能從網路上找 :p 06/10 11:57
11F：推 july:台大應力所的黃榮山教授帶領的Group有WYKO...可以去問問看.. 06/10 14:34