作者Ice98 (又寂寞又美好)
看板NEMS
标题[问题] 表面轮廓量测
时间Sun Jun 8 22:44:35 2008
请问一下诸位板友
因为实验上要量测整个元件的平面倾斜状况
所以需要像ZYGO Optical Profiler这种光学式表面轮廓仪
不知各位是否知道国内有哪个实验室有类似的仪器
感激不尽!~
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.14.214
2F：→ Ice98:Many thanks for your message ^^ 06/09 00:35
3F：推 forceout:zygo...应该不是这样用的吧? 06/09 16:45
4F：→ Ice98:疑...我看很多paper都是用ZYGO在量的ㄚ @.@a 06/09 17:06
5F：推 savior:WYKO应该比较常见? 台大应力所里面就可以用了 06/09 23:56
6F：推 forceout:我知道的ZYGO应该是量测光学品质,不过ZYGO应该是厂牌 06/10 03:27
7F：→ forceout:可能有别的系列. 我们用wyko(也是厂牌吧!) 06/10 03:27
8F：→ Ice98:感谢!~ 请问应力所哪个group有WYKO呢 06/10 09:07
9F：推 savior:请爱用google... 06/10 11:56
10F：→ savior:因为我也不在台大 只能从网路上找 :p 06/10 11:57
11F：推 july:台大应力所的黄荣山教授带领的Group有WYKO...可以去问问看.. 06/10 14:34