作者howell1980 (howell)
看板NCTU_INT_NDL
標題Re: 請問一下有關於黃光製程
時間Fri May 12 00:39:17 2006
※ 引述《matsui32 (愛讀書的小孩)》之銘言：
: 有一些關於黃光的問題想請教一下大家
: 請問一下黃光製程中有一道是上HMDS
: 我們通常在做這一道之前有沒有先prebake呀？
: 還有我們自己實驗室在上光阻 FH-6400的轉速
: 一二階段分別設多少？然後轉出來會有多厚？ 要曝多久時間？
: 感謝
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我都1500 15秒 3500 35秒 比較好記
但我也有看過有人 1500 15秒 4500 30秒
所以我覺得應該差沒多少
至於厚度我沒量過
曝光的話 38-45秒
但是38秒不太好顯 所以不要少於38
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◆ From: 140.113.128.170
1F：推 matsui32:謝謝啦 05/12 11:16