作者howell1980 (howell)
看板NCTU_INT_NDL
标题Re: 请问一下有关於黄光制程
时间Fri May 12 00:39:17 2006
※ 引述《matsui32 (爱读书的小孩)》之铭言：
: 有一些关於黄光的问题想请教一下大家
: 请问一下黄光制程中有一道是上HMDS
: 我们通常在做这一道之前有没有先prebake呀？
: 还有我们自己实验室在上光阻 FH-6400的转速
: 一二阶段分别设多少？然後转出来会有多厚？ 要曝多久时间？
: 感谢
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我都1500 15秒 3500 35秒 比较好记
但我也有看过有人 1500 15秒 4500 30秒
所以我觉得应该差没多少
至於厚度我没量过
曝光的话 38-45秒
但是38秒不太好显 所以不要少於38
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◆ From: 140.113.128.170
1F：推 matsui32:谢谢啦 05/12 11:16