作者sort897 (sort)
看板NCTU_INT_NDL
標題Re: 請問一下有關於黃光製程
時間Sun Apr 23 15:45:29 2006
※ 引述《matsui32 (愛讀書的小孩)》之銘言：
: 有一些關於黃光的問題想請教一下大家
: 請問一下黃光製程中有一道是上HMDS
: 我們通常在做這一道之前有沒有先prebake呀？
: 還有我們自己實驗室在上光阻 FH-6400的轉速
: 一二階段分別設多少？然後轉出來會有多厚？ 要曝多久時間？
: 感謝
都上hmds了 就不需要做prebake囉。
不過保持sample的乾淨度，是很重要的啦！
很care厚度的話，顯完影，用a-step量一下不就好了！
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 59.105.58.60
1F：→ matsui32:3Q 04/23 21:56