作者sort897 (sort)
看板NCTU_INT_NDL
标题Re: 请问一下有关於黄光制程
时间Sun Apr 23 15:45:29 2006
※ 引述《matsui32 (爱读书的小孩)》之铭言：
: 有一些关於黄光的问题想请教一下大家
: 请问一下黄光制程中有一道是上HMDS
: 我们通常在做这一道之前有没有先prebake呀？
: 还有我们自己实验室在上光阻 FH-6400的转速
: 一二阶段分别设多少？然後转出来会有多厚？ 要曝多久时间？
: 感谢
都上hmds了 就不需要做prebake罗。
不过保持sample的乾净度，是很重要的啦！
很care厚度的话，显完影，用a-step量一下不就好了！
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 59.105.58.60
1F：→ matsui32:3Q 04/23 21:56