作者matsui32 (愛讀書的小孩)
看板NCTU_INT_NDL
標題請問一下有關於黃光製程
時間Sun Apr 23 13:59:46 2006
有一些關於黃光的問題想請教一下大家
請問一下黃光製程中有一道是上HMDS
我們通常在做這一道之前有沒有先prebake呀？
還有我們自己實驗室在上光阻 FH-6400的轉速
一二階段分別設多少？然後轉出來會有多厚？ 要曝多久時間？
感謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 59.104.108.11
※ 編輯: matsui32 來自: 59.104.108.11 (04/23 14:04)
1F：推 leptons:1st 500rpm 10sec ,2nd 4000rpm 30sec ,exporse40sec 04/23 15:25
2F：→ leptons:轉出來多後可以參考黃光室門口的資料 04/23 15:26
3F：→ matsui32:3Q 04/23 21:55