作者matsui32 (爱读书的小孩)
看板NCTU_INT_NDL
标题请问一下有关於黄光制程
时间Sun Apr 23 13:59:46 2006
有一些关於黄光的问题想请教一下大家
请问一下黄光制程中有一道是上HMDS
我们通常在做这一道之前有没有先prebake呀？
还有我们自己实验室在上光阻 FH-6400的转速
一二阶段分别设多少？然後转出来会有多厚？ 要曝多久时间？
感谢
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◆ From: 59.104.108.11
※ 编辑: matsui32 来自: 59.104.108.11 (04/23 14:04)
1F：推 leptons:1st 500rpm 10sec ,2nd 4000rpm 30sec ,exporse40sec 04/23 15:25
2F：→ leptons:转出来多後可以参考黄光室门口的资料 04/23 15:26
3F：→ matsui32:3Q 04/23 21:55