作者a58903070 (shauin)
看板Mechanical
標題[討論] 真空腔體達不到預想壓力
時間Tue Jan 21 20:31:42 2020
感謝樓下的各位回覆，目前這組腔體會把牙孔保留（還有其他測試要用）
挖一個洞焊接kf40的接頭型式與幫浦（新幫浦）銜接，
先測試腔體能到達10-3torr在走下一步，更換真空計跟修改牙口的管路。
想請教板上有沒有真空達人......
目前小弟遇到設備的腔體客戶要求達到1pa
換算torr 是 10-3
但我標頭的真空值顯示-80kp就下不去了（目標值1pa=-101kpa嗎？）
搞不太懂哪個環節出問題。
另外腔體我放置12小時負壓-78kpa變-77kpa
理論上洩漏很微量。
https://i.imgur.com/Yjchblv.jpg
附上幫浦資料
https://i.imgur.com/80VxuYd.jpg
https://i.imgur.com/V0CFDt3.jpg
有人有推薦的錶頭跟pump嗎？
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※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Mechanical/M.1579609904.A.562.html
1F：→ ivanlin630: 站壓站的住嗎01/21 20:55
2F：→ a12a13a14aaa: 這樣接可以往-101kPa嗎.你規格似乎是高真空了...先01/21 21:42
3F：→ a12a13a14aaa: 確認其它接頭處有無洩漏，焊接體是否也沒洩漏。01/21 21:42
測試12小時-78kpa變為-77kpa這樣能算沒洩漏嗎？
4F：推 YJM1106: 先確認真空表量測值線性範圍可以到這數字01/21 23:22
我看規格是能到-101kpa
5F：→ YJM1106: 不然你會被讀數不正確的問題搞死XD01/21 23:23
6F：推 tomdanny75: 幫浦規格對嗎01/21 23:26
7F：推 FTICR: 如果不是幫浦用錯、真空計有問題 那就是有漏01/21 23:42
※ 編輯: a58903070 (27.247.133.110 臺灣), 01/22/2020 11:01:26
8F：推 michaelgodtw: 十二小時少一，差不多是零洩了，你應該是負壓在抽01/22 11:27
9F：→ michaelgodtw: 看看，機械本身能抽那麼高嗎01/22 11:27
10F：→ michaelgodtw: 經驗上是有的號稱可以抽到這樣高，但是實際上抽不01/22 11:29
11F：→ michaelgodtw: 起01/22 11:29
12F：推 a12a13a14aaa: 洩漏並是不是只看12小時，有可能你的抽與漏，已經01/22 17:39
13F：→ a12a13a14aaa: 剛好平衡，所以真空只能在-70kPa01/22 17:39
14F：→ a12a13a14aaa: 另一個做法，先排除管路，腔體灌入一正壓，接縫處01/22 17:40
15F：→ a12a13a14aaa: 塗泡水，接頭處都塗，看看有否洩漏01/22 17:40
基本上我負壓測試是打到-78關閉幫浦12小時後到-77，這個洩漏量我個人認為是很小的。
16F：推 anthony10605: 拿PUMP去抽別台阿01/22 22:58
17F：推 michaelgodtw: 照圖看，這?大的箱體，如果是微弱的平衡，應該是很01/22 23:22
18F：→ michaelgodtw: 快就掉了01/22 23:22
19F：→ michaelgodtw: 小箱體我才有遇過這種事，大箱體，我沒遇過就是了 01/22 23:23
20F：推 michaelgodtw: 當然a大的打正壓下去看泡泡，這我也常這樣做，這都 01/22 23:25
21F：→ michaelgodtw: 試看看吧 01/22 23:25
22F：→ FTICR: 1. 這顆pump是單級還是雙級的？ 如果是單級很難到10-3 torr01/23 01:48
這可能等開工才能問pump廠商了
23F：→ FTICR: 2. 用這種管子可能很容易滲氣體或漏氣01/23 01:50
管子我有確認是可以用在-101kpa,接頭是用sw接頭。
24F：推 FTICR: 3. 要求的1 Pa應該是 0.0075 torr才對，看你那個真空表大 01/23 01:53
25F：→ FTICR: 概只能顯示到 kPa 或 torr，並不適合01/23 01:53
請問有推薦的真空錶可以介紹給我嗎？感激
26F：→ FTICR: 4. 要測漏的話可以在抽真空時輪流在各接縫處噴酒精，有漏 01/23 01:54
27F：→ FTICR: 的話壓力會升高 01/23 01:54
這招蠻特別的...我再試試看
28F：→ shiow1026: 我猜讀表不准 要量真空壓的讀表都是torr 01/23 18:38
29F：→ lukawae: 1.光描述你就用不同單位 換算就搞死你自己了01/24 10:53
30F：→ lukawae: 把表頭直接裝pump上 你就看的到最大能力01/24 10:56
31F：→ lukawae: 如果這種大小抽真空 跟單抽pump差很多 就是漏01/24 10:57
32F：→ lukawae: 網路上就有單位換算 做任何動作前 先統一單位01/24 10:58
33F：推 michaelgodtw: 對啊，其實我覺得這也怪，其實我做的也不少，但單01/24 12:20
34F：→ michaelgodtw: 位到每家，每家買的都不一樣單位01/24 12:20
35F：→ michaelgodtw: 這有沒有其它大大能教一下，為什麼嗎?01/24 12:20
36F：→ lukawae: 壓力單位大概有8種 各自為政 但設計的人就是要單一化01/24 12:47
※ 編輯: a58903070 (27.246.192.1 臺灣), 01/25/2020 03:04:26
37F：→ lukawae: 藍PU管是接PUMP抽真空嗎?是的話 應該是主因 01/25 11:48
38F：→ FTICR: 這個壓力區間通常會用熱傳導真空記 常見品牌像是GP Leybold 01/25 18:08
39F：→ FTICR: Edwards等等01/25 18:08
40F：→ FTICR: 價格會比你這顆貴上不少01/25 18:09
41F：推 kdjf: 先不提有沒有洩漏，你那麼細長的PU管在你要的壓力尺度下會是 01/27 20:05
42F：→ kdjf: 抽氣的瓶頸01/27 20:05
43F：→ coolisme01: Pump太小，管線配置有問題，顯示器沒那麼精準。 01/28 13:40
44F：→ henrk: SMC那表頭無法顯示真空的，只能到負壓；腔體那麼大用這麼小 01/30 00:06
45F：→ henrk: 的PUMP，而且1Pa應該用金屬管了，PU管搞不好還有OUTGAS改鐵01/30 00:07
46F：→ henrk: 改鐵氟龍管可能好一些，去ULVAC網站看一下吧 01/30 00:08
47F：→ henrk: 然後有看到白色物，該不會用水龍頭洩漏帶吧?若是，可能得找 01/30 00:10
48F：→ henrk: 真空廠商進補一下基本知識了01/30 00:10
49F：→ henrk: 另外，真空都是用氦氣測漏儀， 還有人打泡泡酒精的，暈!! 01/30 00:13
50F：→ henrk: 不過顯示停在80kPa，只能算負壓等級應該還不能用氦氣測漏儀 01/30 00:25
51F：→ henrk: 接頭如果鎖牙，通常都會用AB膠密封，AB膠內外牙都要塗 01/30 00:33
52F：推 FTICR: 酒精隨處都可拿到，比一大台又貴的氦氣測漏儀 還要拉氦氣 01/30 14:29
53F：→ FTICR: 管路的測漏方式方便多了 01/30 14:29
54F：推 FTICR: 用白色鐵氟龍止洩帶沒問題 況且樓主要求只有 10-2 torr 01/30 14:32
55F：→ FTICR: 管子要換倒是真的，如果不想用金屬KF Bellows，至少換成 01/30 14:36
56F：→ FTICR: 鐵氟龍 (FEP或PFA)管 01/30 14:39
57F：推 dragon51: 沒有氦氣測漏儀時，酒精是很好的測漏方法。表頭,pump, 01/30 19:23
58F：→ dragon51: 止洩帶都有問題，還有下方的訊號接頭，如果您在台中，可01/30 19:23
59F：→ dragon51: 以搬來我廠內，免費幫您氦氣測漏！ 01/30 19:23
60F：推 michaelgodtw: 嗯，你要看範圍。He 是在比較高端的在用，像有管路 01/30 22:25
61F：→ michaelgodtw: 洩漏會引起爆炸01/30 22:25
62F：推 michaelgodtw: 像我做電子業的防爆防水，其實不用氦氣，負壓跟正01/30 22:26
63F：→ michaelgodtw: 壓交相來就好了 01/30 22:26
64F：→ henrk: 氦氣是因為往上飄，酒精會擴散，測漏是在找洩漏點，所以靶01/31 07:52
65F：→ henrk: 子跟飛鏢越準越好。100Pa內才算到了真空，1ATM到100Pa可能3 01/31 07:54
66F：→ henrk: 秒，但100Pa到10Pa搞不好永遠到不了，真空跟負壓差很大 01/31 07:56
67F：→ lukawae: 液體測漏是便宜方便用 如果能達到測漏儀程度 誰會買?02/01 01:28
68F：→ lukawae: 液體測漏最大問題是 真空狀態下 液體會凝結 02/01 01:29
69F：→ lukawae: 縫不大 也抓不到 02/01 01:29
70F：→ lukawae: 客戶端求方便才用液體測漏 製造商是測漏儀加持壓02/01 01:31
71F：→ lukawae: 水層 腔體 組件後 試車後 可以這樣測4輪才出廠 02/01 01:32
72F：→ lukawae: 不這樣測 等到客戶進件後 達不到真空度 就有的找原因了 02/01 01:34
※ 編輯: a58903070 (115.43.168.193 臺灣), 02/01/2020 20:26:17
73F：推 hoodstrike: 以前做氦氣測漏時，發現有氣漏，也是用正壓+肥皂水去 02/03 00:19
74F：→ hoodstrike: 抓哪裡有氣漏，問過測漏儀的設備商也說這方法是可行 02/03 00:19
75F：→ hoodstrike: 的。 02/03 00:19
76F：→ FTICR: 焊真空法蘭記得要從腔體內焊一圈，不行從外面焊(縫隙被留在 02/03 21:51
77F：→ FTICR: 真空腔體內) 02/03 21:51
78F：→ FTICR: to h大：測漏儀就可以直接抓到漏點了，為什麼還要再正壓? 02/03 21:52
79F：→ hoodstrike: 測漏儀只能幫忙鎖定某個區段會漏氣，不能很明顯的知道 02/04 07:54
80F：→ hoodstrike: 哪個點，再加上要拍給客戶看漏氣的狀況，所以才會用 02/04 07:54
81F：→ hoodstrike: 正壓+肥皂水的方式。 02/04 07:54
82F：推 michaelgodtw: 有測漏儀可以直接抓漏點的嗎？介紹一下吧 02/04 18:17
83F：→ FTICR: 用測漏儀抽腔體，噴氦氣去找漏點 02/04 18:26
85F：推 lukawae: to:michaelgodtw 每一家的都辦的到 02/05 21:35
86F：推 michaelgodtw: 用氦氣或H2，表面會不會有痕跡？我們是鐵件但要噴 02/06 18:15
87F：→ michaelgodtw: 漆 02/06 18:15
88F：→ lukawae: to:michaelgodtw毫無痕跡 抓到漏會用簽字筆畫圈補焊 02/06 18:38
89F：推 miletian: 先排除腔體問題，馬達直接接到真空錶看看能不能達到指定 02/06 19:57
90F：→ miletian: 壓力，如果馬達沒問題再進一步去檢查腔體 02/06 19:57
91F：推 eragon: 先找個測漏閥接上去噴氦測，半導體廠sop 02/10 15:12
92F：推 capman: 看起來是鋁真空腔，用焊接方式組裝？ 02/18 15:31