作者a58903070 (shauin)
看板Mechanical
标题[讨论] 真空腔体达不到预想压力
时间Tue Jan 21 20:31:42 2020
感谢楼下的各位回覆，目前这组腔体会把牙孔保留（还有其他测试要用）
挖一个洞焊接kf40的接头型式与帮浦（新帮浦）衔接，
先测试腔体能到达10-3torr在走下一步，更换真空计跟修改牙口的管路。
想请教板上有没有真空达人......
目前小弟遇到设备的腔体客户要求达到1pa
换算torr 是 10-3
但我标头的真空值显示-80kp就下不去了（目标值1pa=-101kpa吗？）
搞不太懂哪个环节出问题。
另外腔体我放置12小时负压-78kpa变-77kpa
理论上泄漏很微量。
https://i.imgur.com/Yjchblv.jpg
附上帮浦资料
https://i.imgur.com/80VxuYd.jpg
https://i.imgur.com/V0CFDt3.jpg
有人有推荐的表头跟pump吗？
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1F：→ ivanlin630: 站压站的住吗01/21 20:55
2F：→ a12a13a14aaa: 这样接可以往-101kPa吗.你规格似乎是高真空了...先01/21 21:42
3F：→ a12a13a14aaa: 确认其它接头处有无泄漏，焊接体是否也没泄漏。01/21 21:42
测试12小时-78kpa变为-77kpa这样能算没泄漏吗？
4F：推 YJM1106: 先确认真空表量测值线性范围可以到这数字01/21 23:22
我看规格是能到-101kpa
5F：→ YJM1106: 不然你会被读数不正确的问题搞死XD01/21 23:23
6F：推 tomdanny75: 帮浦规格对吗01/21 23:26
7F：推 FTICR: 如果不是帮浦用错、真空计有问题 那就是有漏01/21 23:42
※ 编辑: a58903070 (27.247.133.110 台湾), 01/22/2020 11:01:26
8F：推 michaelgodtw: 十二小时少一，差不多是零泄了，你应该是负压在抽01/22 11:27
9F：→ michaelgodtw: 看看，机械本身能抽那麽高吗01/22 11:27
10F：→ michaelgodtw: 经验上是有的号称可以抽到这样高，但是实际上抽不01/22 11:29
11F：→ michaelgodtw: 起01/22 11:29
12F：推 a12a13a14aaa: 泄漏并是不是只看12小时，有可能你的抽与漏，已经01/22 17:39
13F：→ a12a13a14aaa: 刚好平衡，所以真空只能在-70kPa01/22 17:39
14F：→ a12a13a14aaa: 另一个做法，先排除管路，腔体灌入一正压，接缝处01/22 17:40
15F：→ a12a13a14aaa: 涂泡水，接头处都涂，看看有否泄漏01/22 17:40
基本上我负压测试是打到-78关闭帮浦12小时後到-77，这个泄漏量我个人认为是很小的。
16F：推 anthony10605: 拿PUMP去抽别台阿01/22 22:58
17F：推 michaelgodtw: 照图看，这?大的箱体，如果是微弱的平衡，应该是很01/22 23:22
18F：→ michaelgodtw: 快就掉了01/22 23:22
19F：→ michaelgodtw: 小箱体我才有遇过这种事，大箱体，我没遇过就是了 01/22 23:23
20F：推 michaelgodtw: 当然a大的打正压下去看泡泡，这我也常这样做，这都 01/22 23:25
21F：→ michaelgodtw: 试看看吧 01/22 23:25
22F：→ FTICR: 1. 这颗pump是单级还是双级的？ 如果是单级很难到10-3 torr01/23 01:48
这可能等开工才能问pump厂商了
23F：→ FTICR: 2. 用这种管子可能很容易渗气体或漏气01/23 01:50
管子我有确认是可以用在-101kpa,接头是用sw接头。
24F：推 FTICR: 3. 要求的1 Pa应该是 0.0075 torr才对，看你那个真空表大 01/23 01:53
25F：→ FTICR: 概只能显示到 kPa 或 torr，并不适合01/23 01:53
请问有推荐的真空表可以介绍给我吗？感激
26F：→ FTICR: 4. 要测漏的话可以在抽真空时轮流在各接缝处喷酒精，有漏 01/23 01:54
27F：→ FTICR: 的话压力会升高 01/23 01:54
这招蛮特别的...我再试试看
28F：→ shiow1026: 我猜读表不准 要量真空压的读表都是torr 01/23 18:38
29F：→ lukawae: 1.光描述你就用不同单位 换算就搞死你自己了01/24 10:53
30F：→ lukawae: 把表头直接装pump上 你就看的到最大能力01/24 10:56
31F：→ lukawae: 如果这种大小抽真空 跟单抽pump差很多 就是漏01/24 10:57
32F：→ lukawae: 网路上就有单位换算 做任何动作前 先统一单位01/24 10:58
33F：推 michaelgodtw: 对啊，其实我觉得这也怪，其实我做的也不少，但单01/24 12:20
34F：→ michaelgodtw: 位到每家，每家买的都不一样单位01/24 12:20
35F：→ michaelgodtw: 这有没有其它大大能教一下，为什麽吗?01/24 12:20
36F：→ lukawae: 压力单位大概有8种 各自为政 但设计的人就是要单一化01/24 12:47
※ 编辑: a58903070 (27.246.192.1 台湾), 01/25/2020 03:04:26
37F：→ lukawae: 蓝PU管是接PUMP抽真空吗?是的话 应该是主因 01/25 11:48
38F：→ FTICR: 这个压力区间通常会用热传导真空记 常见品牌像是GP Leybold 01/25 18:08
39F：→ FTICR: Edwards等等01/25 18:08
40F：→ FTICR: 价格会比你这颗贵上不少01/25 18:09
41F：推 kdjf: 先不提有没有泄漏，你那麽细长的PU管在你要的压力尺度下会是 01/27 20:05
42F：→ kdjf: 抽气的瓶颈01/27 20:05
43F：→ coolisme01: Pump太小，管线配置有问题，显示器没那麽精准。 01/28 13:40
44F：→ henrk: SMC那表头无法显示真空的，只能到负压；腔体那麽大用这麽小 01/30 00:06
45F：→ henrk: 的PUMP，而且1Pa应该用金属管了，PU管搞不好还有OUTGAS改铁01/30 00:07
46F：→ henrk: 改铁氟龙管可能好一些，去ULVAC网站看一下吧 01/30 00:08
47F：→ henrk: 然後有看到白色物，该不会用水龙头泄漏带吧?若是，可能得找 01/30 00:10
48F：→ henrk: 真空厂商进补一下基本知识了01/30 00:10
49F：→ henrk: 另外，真空都是用氦气测漏仪， 还有人打泡泡酒精的，晕!! 01/30 00:13
50F：→ henrk: 不过显示停在80kPa，只能算负压等级应该还不能用氦气测漏仪 01/30 00:25
51F：→ henrk: 接头如果锁牙，通常都会用AB胶密封，AB胶内外牙都要涂 01/30 00:33
52F：推 FTICR: 酒精随处都可拿到，比一大台又贵的氦气测漏仪 还要拉氦气 01/30 14:29
53F：→ FTICR: 管路的测漏方式方便多了 01/30 14:29
54F：推 FTICR: 用白色铁氟龙止泄带没问题 况且楼主要求只有 10-2 torr 01/30 14:32
55F：→ FTICR: 管子要换倒是真的，如果不想用金属KF Bellows，至少换成 01/30 14:36
56F：→ FTICR: 铁氟龙 (FEP或PFA)管 01/30 14:39
57F：推 dragon51: 没有氦气测漏仪时，酒精是很好的测漏方法。表头,pump, 01/30 19:23
58F：→ dragon51: 止泄带都有问题，还有下方的讯号接头，如果您在台中，可01/30 19:23
59F：→ dragon51: 以搬来我厂内，免费帮您氦气测漏！ 01/30 19:23
60F：推 michaelgodtw: 嗯，你要看范围。He 是在比较高端的在用，像有管路 01/30 22:25
61F：→ michaelgodtw: 泄漏会引起爆炸01/30 22:25
62F：推 michaelgodtw: 像我做电子业的防爆防水，其实不用氦气，负压跟正01/30 22:26
63F：→ michaelgodtw: 压交相来就好了 01/30 22:26
64F：→ henrk: 氦气是因为往上飘，酒精会扩散，测漏是在找泄漏点，所以靶01/31 07:52
65F：→ henrk: 子跟飞镖越准越好。100Pa内才算到了真空，1ATM到100Pa可能3 01/31 07:54
66F：→ henrk: 秒，但100Pa到10Pa搞不好永远到不了，真空跟负压差很大 01/31 07:56
67F：→ lukawae: 液体测漏是便宜方便用 如果能达到测漏仪程度 谁会买?02/01 01:28
68F：→ lukawae: 液体测漏最大问题是 真空状态下 液体会凝结 02/01 01:29
69F：→ lukawae: 缝不大 也抓不到 02/01 01:29
70F：→ lukawae: 客户端求方便才用液体测漏 制造商是测漏仪加持压02/01 01:31
71F：→ lukawae: 水层 腔体 组件後 试车後 可以这样测4轮才出厂 02/01 01:32
72F：→ lukawae: 不这样测 等到客户进件後 达不到真空度 就有的找原因了 02/01 01:34
※ 编辑: a58903070 (115.43.168.193 台湾), 02/01/2020 20:26:17
73F：推 hoodstrike: 以前做氦气测漏时，发现有气漏，也是用正压+肥皂水去 02/03 00:19
74F：→ hoodstrike: 抓哪里有气漏，问过测漏仪的设备商也说这方法是可行 02/03 00:19
75F：→ hoodstrike: 的。 02/03 00:19
76F：→ FTICR: 焊真空法兰记得要从腔体内焊一圈，不行从外面焊(缝隙被留在 02/03 21:51
77F：→ FTICR: 真空腔体内) 02/03 21:51
78F：→ FTICR: to h大：测漏仪就可以直接抓到漏点了，为什麽还要再正压? 02/03 21:52
79F：→ hoodstrike: 测漏仪只能帮忙锁定某个区段会漏气，不能很明显的知道 02/04 07:54
80F：→ hoodstrike: 哪个点，再加上要拍给客户看漏气的状况，所以才会用 02/04 07:54
81F：→ hoodstrike: 正压+肥皂水的方式。 02/04 07:54
82F：推 michaelgodtw: 有测漏仪可以直接抓漏点的吗？介绍一下吧 02/04 18:17
83F：→ FTICR: 用测漏仪抽腔体，喷氦气去找漏点 02/04 18:26
85F：推 lukawae: to:michaelgodtw 每一家的都办的到 02/05 21:35
86F：推 michaelgodtw: 用氦气或H2，表面会不会有痕迹？我们是铁件但要喷 02/06 18:15
87F：→ michaelgodtw: 漆 02/06 18:15
88F：→ lukawae: to:michaelgodtw毫无痕迹 抓到漏会用签字笔画圈补焊 02/06 18:38
89F：推 miletian: 先排除腔体问题，马达直接接到真空表看看能不能达到指定 02/06 19:57
90F：→ miletian: 压力，如果马达没问题再进一步去检查腔体 02/06 19:57
91F：推 eragon: 先找个测漏阀接上去喷氦测，半导体厂sop 02/10 15:12
92F：推 capman: 看起来是铝真空腔，用焊接方式组装？ 02/18 15:31