作者escorpion (單程車票)
看板Mechanical
標題[技術] 關於真空閥門漏氣時間
時間Fri Nov 7 18:16:11 2014
各位板上大大們好，
小弟想在這裡請問一下如果我使用一個標榜leak rate為10^-9 cc/s的閥門將
一個抽至10^-3 torr的chamber(體積1公升，鋁材質)關起來後關掉pump，
那chamber 壓力上升至5*10^-3 torr 的時間為多少?
我在手邊的資料看到一個公式 :
t=c*(V/S)*ln(Pi/Pf)
t:pumpdown time, V:chamber volume, S:system pumping speed
Pi:initial pressure, Pf:final pressure
c: correction factor =
1.0 between Atm and 10 torr
1.5 between 10 torr and 5 torr
2.0 between 5 torr and 50m torr
4.0 between 50m torr and 1m torr
因此若直接代入這式子可以得到 :
t=4*(1000/10^-9)*ln(1/5)~6.44*10^12 s~20萬年...
但這怎麼想都不太可能，
請問有哪裡遺漏的嗎?
在這裡先謝謝回答的大大
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※ 文章網址: http://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Mechanical/M.1415355373.A.C0B.html
1F：推 YJM1106: 我算了一下才57天而已 11/07 18:44
2F：→ escorpion: 樓上的大大可以請問你怎麼算的嗎?謝謝 11/07 18:48
3F：推 FTICR: leak rate 的單位是 壓力*體積/時間吧 比如說torr*L/s 11/08 00:16
http://www.pchemlabs.com/product.asp?pid=4246
他前面有特別說是在STD的條件下
※ 編輯: escorpion (1.171.178.185), 11/08/2014 00:32:43
4F：推 yfchen1976: 重點是一般真空元件的洩漏率是用氦為基準的 11/08 00:52
5F：推 yfchen1976: 另外也不能只看閥，腔體本身的逸氣量也要算進去 11/08 00:54
6F：推 shiangan: 那個公式是pump down用的 11/08 00:59
其實我不太知道該如何把chamber outgassing加到這個式子裡面....
※ 編輯: escorpion (210.197.159.227), 11/08/2014 22:34:35
7F：→ YJM1106: 啊，不就算出一公升容器，壓力升上去要多少氣體 11/08 22:40
8F：→ YJM1106: 再用洩漏速度(壓力就NTD或STD)的氣體量 11/08 22:41
9F：→ YJM1106: 算要多少時間就好了(約當啦) 11/08 22:41
10F：→ YJM1106: 因為外部壓力遠大於內部壓力，估計洩漏速率不變 11/08 22:42