作者escorpion (单程车票)
看板Mechanical
标题[技术] 关於真空阀门漏气时间
时间Fri Nov 7 18:16:11 2014
各位板上大大们好，
小弟想在这里请问一下如果我使用一个标榜leak rate为10^-9 cc/s的阀门将
一个抽至10^-3 torr的chamber(体积1公升，铝材质)关起来後关掉pump，
那chamber 压力上升至5*10^-3 torr 的时间为多少?
我在手边的资料看到一个公式 :
t=c*(V/S)*ln(Pi/Pf)
t:pumpdown time, V:chamber volume, S:system pumping speed
Pi:initial pressure, Pf:final pressure
c: correction factor =
1.0 between Atm and 10 torr
1.5 between 10 torr and 5 torr
2.0 between 5 torr and 50m torr
4.0 between 50m torr and 1m torr
因此若直接代入这式子可以得到 :
t=4*(1000/10^-9)*ln(1/5)~6.44*10^12 s~20万年...
但这怎麽想都不太可能，
请问有哪里遗漏的吗?
在这里先谢谢回答的大大
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1F：推 YJM1106: 我算了一下才57天而已 11/07 18:44
2F：→ escorpion: 楼上的大大可以请问你怎麽算的吗?谢谢 11/07 18:48
3F：推 FTICR: leak rate 的单位是 压力*体积/时间吧 比如说torr*L/s 11/08 00:16
http://www.pchemlabs.com/product.asp?pid=4246
他前面有特别说是在STD的条件下
※ 编辑: escorpion (1.171.178.185), 11/08/2014 00:32:43
4F：推 yfchen1976: 重点是一般真空元件的泄漏率是用氦为基准的 11/08 00:52
5F：推 yfchen1976: 另外也不能只看阀，腔体本身的逸气量也要算进去 11/08 00:54
6F：推 shiangan: 那个公式是pump down用的 11/08 00:59
其实我不太知道该如何把chamber outgassing加到这个式子里面....
※ 编辑: escorpion (210.197.159.227), 11/08/2014 22:34:35
7F：→ YJM1106: 啊，不就算出一公升容器，压力升上去要多少气体 11/08 22:40
8F：→ YJM1106: 再用泄漏速度(压力就NTD或STD)的气体量 11/08 22:41
9F：→ YJM1106: 算要多少时间就好了(约当啦) 11/08 22:41
10F：→ YJM1106: 因为外部压力远大於内部压力，估计泄漏速率不变 11/08 22:42