作者leoqoopili (Leo)
看板Mechanical
標題[徵求] 腔體冷卻流道設計
時間Thu Oct 31 15:33:13 2013
各位大大好
因為研究所論文要做腔體冷卻流道設計
不知道各位有沒有這方面的資訊或資料
可以讓我了解到實際腔體冷卻流道一般是怎樣做的?
(能是CVD腔體的最好)
thx
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1F：推 jaredlui:Breaker 關掉一直pump vent重點是怕有化學殘氣 11/09 14:20