作者leoqoopili (Leo)
看板Mechanical
标题[徵求] 腔体冷却流道设计
时间Thu Oct 31 15:33:13 2013
各位大大好
因为研究所论文要做腔体冷却流道设计
不知道各位有没有这方面的资讯或资料
可以让我了解到实际腔体冷却流道一般是怎样做的?
(能是CVD腔体的最好)
thx
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1F：推 jaredlui:Breaker 关掉一直pump vent重点是怕有化学残气 11/09 14:20