作者samchiu176 (Sam)
看板Mechanical
標題[請益] 陶瓷平整度該如何量測?
時間Mon Mar 29 21:37:29 2010
請問各位先進
若我兩片陶瓷相閉合時，要如何判斷它平整度是很平的
以至於不會有任何間隙，要用甚麼儀器去進行確認呢?
用三次元好像又不能看出甚麼端倪
麻煩各位了，聽說好像有類似光的方式來量測
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◆ From: 114.38.22.123
1F：推 aljust:超音波可行嗎？ 看反射訊號 03/29 21:49
2F：→ aljust:因為是閉合 條件比較麻煩點.... 03/29 21:49
3F：→ samchiu176:閉合那面有特別做了鏡面..但還是會漏氣 03/29 21:55
4F：→ peace69:看能不能像塊規一樣貼合~~ 03/29 22:13
5F：→ samchiu176:其實我是兩塊陶瓷裡頭會有氣體流動，就是不能漏氣 03/29 22:31
6F：推 largesperm:不加墊片 不漏氣幾乎不可能吧 03/29 22:52
7F：→ samchiu176:我也想加，可是實際情況是不行的，#_# 03/29 23:10
8F：推 aljust:有圖嗎？ 我還以為你是說兩片閉合測他的密封哩 搞錯了 03/29 23:15
9F：推 gamer:要平整到不會漏氣，可能要到用晶圓級的研磨才行。 03/30 01:04
10F：→ gamer:那如果是要量測平整度，有兩種可以做到，一種是laser，一種 03/30 01:05
11F：→ gamer:是AFM，至於那種適用，要看你的大小多大。 03/30 01:06
12F：→ gamer:如果太大片，用AFM可能比較難做到，甚至根本沒這個大的。 03/30 01:06
13F：→ lisn0814:干涉儀可行嗎？ 03/30 18:12
14F：推 tzsh:用光學平板 03/30 18:32
15F：→ samchiu176:若是晶圓級的研磨，是不是要找同等級的機台呢? 03/30 22:19
16F：→ samchiu176:我這兩塊陶瓷是大概拇指大小左右，應該可以用afm? 03/30 22:20
17F：→ samchiu176:有人可以推薦一下AFM的參考資料嗎? 03/30 22:21
18F：→ samchiu176:在請問若是光學平板，哪裡可以找到廠商量測? 03/30 22:23
19F：推 gamer:AFM你google應該一堆資訊吧，這個東西現在很多地方都有，給 03/30 23:47
20F：→ gamer:外面測應該沒什麼困難的。 03/30 23:47
21F：→ sldragon:你該不會想看有沒有漏氣而不是他的平整度吧? 03/31 01:09
22F：→ sldragon:陶瓷的種類和燒結問題都有可能在內部產生孔隙所以不一定 03/31 01:12