作者samchiu176 (Sam)
看板Mechanical
标题[请益] 陶瓷平整度该如何量测?
时间Mon Mar 29 21:37:29 2010
请问各位先进
若我两片陶瓷相闭合时，要如何判断它平整度是很平的
以至於不会有任何间隙，要用甚麽仪器去进行确认呢?
用三次元好像又不能看出甚麽端倪
麻烦各位了，听说好像有类似光的方式来量测
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◆ From: 114.38.22.123
1F：推 aljust:超音波可行吗？ 看反射讯号 03/29 21:49
2F：→ aljust:因为是闭合 条件比较麻烦点.... 03/29 21:49
3F：→ samchiu176:闭合那面有特别做了镜面..但还是会漏气 03/29 21:55
4F：→ peace69:看能不能像块规一样贴合~~ 03/29 22:13
5F：→ samchiu176:其实我是两块陶瓷里头会有气体流动，就是不能漏气 03/29 22:31
6F：推 largesperm:不加垫片 不漏气几乎不可能吧 03/29 22:52
7F：→ samchiu176:我也想加，可是实际情况是不行的，#_# 03/29 23:10
8F：推 aljust:有图吗？ 我还以为你是说两片闭合测他的密封哩 搞错了 03/29 23:15
9F：推 gamer:要平整到不会漏气，可能要到用晶圆级的研磨才行。 03/30 01:04
10F：→ gamer:那如果是要量测平整度，有两种可以做到，一种是laser，一种 03/30 01:05
11F：→ gamer:是AFM，至於那种适用，要看你的大小多大。 03/30 01:06
12F：→ gamer:如果太大片，用AFM可能比较难做到，甚至根本没这个大的。 03/30 01:06
13F：→ lisn0814:干涉仪可行吗？ 03/30 18:12
14F：推 tzsh:用光学平板 03/30 18:32
15F：→ samchiu176:若是晶圆级的研磨，是不是要找同等级的机台呢? 03/30 22:19
16F：→ samchiu176:我这两块陶瓷是大概拇指大小左右，应该可以用afm? 03/30 22:20
17F：→ samchiu176:有人可以推荐一下AFM的参考资料吗? 03/30 22:21
18F：→ samchiu176:在请问若是光学平板，哪里可以找到厂商量测? 03/30 22:23
19F：推 gamer:AFM你google应该一堆资讯吧，这个东西现在很多地方都有，给 03/30 23:47
20F：→ gamer:外面测应该没什麽困难的。 03/30 23:47
21F：→ sldragon:你该不会想看有没有漏气而不是他的平整度吧? 03/31 01:09
22F：→ sldragon:陶瓷的种类和烧结问题都有可能在内部产生孔隙所以不一定 03/31 01:12