作者lukawae (Hans)
看板Mechanical
標題Re: [請益] 請問在真空中能自轉的機構
時間Sun Nov 15 03:50:34 2009
※ 引述《amgoy (英文meeting挫賽)》之銘言:
: 不好意思,小弟不是機械專門。近來製程需要,要能斜向蒸鍍,但是不太可能改裝蒸鍍
: 機,專門為了我一個45度斜向蒸鍍(還要旋轉)。
: 簡單畫示意圖:
: \
: \ (wafer 也要在自己法向量轉動)
: \
: U <--鎢舟
: 於是有幾個想法:
: 1. 利用發條,上好發條做一個機構讓wafer轉動。 (大概要1~0.1rpm 持續4小時即可)
: 2. 小馬達(但電池我查資料應該是不可能進蒸鍍機的)
: 3. 利用正上方有一個可以轉動的holder加一些齒輪之類的...
: 目前傾向朝1方法考慮,但有幾點:
: 1. 真空機裡不可以有潤滑油等等東西存在
: 2. 東西不能太重 確切不清楚 但我想1kg以下吧!~
: 不知道這個想法能否在實務面上能實行?
: 最後,不知道我該找哪個廠商來訂做呢?(預算我想兩萬以下都還可以接受)
: 如有相關的前輩能提點實在非常感恩~~謝謝!~
你所想的方法中應該是第二點比較常用
馬達是在桶外所以不會有你擔心的問題,不過轉速這麼慢就還要有減速機構
原則上沒有太大的難度(按照目前敘述看來的話)
蒸鍍機有很多家真空廠商都有做,所以你可以直接上網找幾家聯絡討論之後比價
不過兩萬做不做的起來我就不確定了
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◆ From: 221.120.70.139
1F:推 imanikki:馬達+減速機,潤滑方式很多種不一定要滑脂 11/15 10:24
2F:推 johnny0319:粗估20萬....請人家做的話 11/17 16:12
3F:→ moonpaper:聽到2萬應該會掛電話吧= = 11/17 21:13
4F:推 ntust661:XDDD 11/18 03:33