※ 引述《amgoy (英文meeting挫赛)》之铭言： : 不好意思，小弟不是机械专门。近来制程需要，要能斜向蒸镀，但是不太可能改装蒸镀 : 机，专门为了我一个45度斜向蒸镀(还要旋转)。 : 简单画示意图: : \ : \ (wafer 也要在自己法向量转动) : \ : U <--钨舟 : 於是有几个想法: : 1. 利用发条，上好发条做一个机构让wafer转动。 (大概要1~0.1rpm 持续4小时即可) : 2. 小马达(但电池我查资料应该是不可能进蒸镀机的) : 3. 利用正上方有一个可以转动的holder加一些齿轮之类的... : 目前倾向朝1方法考虑,但有几点: : 1. 真空机里不可以有润滑油等等东西存在 : 2. 东西不能太重 确切不清楚 但我想1kg以下吧!~ : 不知道这个想法能否在实务面上能实行? : 最後，不知道我该找哪个厂商来订做呢?(预算我想两万以下都还可以接受) : 如有相关的前辈能提点实在非常感恩~~谢谢!~ 你所想的方法中应该是第二点比较常用 马达是在桶外所以不会有你担心的问题,不过转速这麽慢就还要有减速机构 原则上没有太大的难度(按照目前叙述看来的话) 蒸镀机有很多家真空厂商都有做,所以你可以直接上网找几家联络讨论之後比价 不过两万做不做的起来我就不确定了 --

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