作者LScouple (找到出路)
看板Mechanical
標題[請益] sputter技術
時間Wed Oct 14 12:37:29 2009
想請問ㄧ下
我想在一個si wafer上(含10um深,寬度0.2um)奈米線結構
用sputter鍍上ZnO 300nm
有辦法完整包覆不穿破嗎?ZnO下得去奈米線的邊緣嗎?
謝謝
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◆ From: 140.112.102.175
1F：推 prions:應該無法，sputter的階梯覆蓋性很差，加上你這深寬比50... 10/16 04:11
2F：→ prions:要包住我覺得是不太可能...考慮一下氣相沉積吧 10/16 04:11
3F：推 CJN:可以考慮用Sol-gel試試 10/19 21:00
4F：→ ilanct:推 氣相沉積 10/22 00:53