作者LScouple (找到出路)
看板Mechanical
标题[请益] sputter技术
时间Wed Oct 14 12:37:29 2009
想请问ㄧ下
我想在一个si wafer上(含10um深,宽度0.2um)奈米线结构
用sputter镀上ZnO 300nm
有办法完整包覆不穿破吗?ZnO下得去奈米线的边缘吗?
谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.102.175
1F：推 prions:应该无法，sputter的阶梯覆盖性很差，加上你这深宽比50... 10/16 04:11
2F：→ prions:要包住我觉得是不太可能...考虑一下气相沉积吧 10/16 04:11
3F：推 CJN:可以考虑用Sol-gel试试 10/19 21:00
4F：→ ilanct:推 气相沉积 10/22 00:53