如果是sputter的真空度 會影響打出來的金屬的品質 真空度差 有可能打出來的東西會容易被掀掉或是剝落(此處是以MEMS製程來說) 理由就如前面所說 主要還是污染物的問題 幾種症狀下可以懷疑是漏氣 第一個是pump抽氣抽不下去 (當然也有可能是pump本身換掉) 這時候最好是換另外一顆pump作測試 至於真空pump 理論上是一段時間應該送出去保養一次 久不保養就是會有老化的情形 判斷的方式 大概還是看抽氣效率 我所管理的設備 正常抽到工作壓力是半小時 但如果久不保養大概抽個一個半小時都還抽不到 第二個就是抽完以後把閥門腔體全部關閉 發現回壓的速度很快 此時可能的問題如同前面有人說過的是O-ring老化 也有可能是管路接縫漏氣 或是閥門損壞的漏氣 一般請廠商拖氦氣測漏儀來的話 我的印象一次是3000以上 假如你猜的出來可能是哪裡漏氣 可以試試看更換O-ring(記得要塗上真空 grease) 或是把管路接合處的夾具夾緊 以上耗材 可以在一般專門做迫緊或是賣迫緊耗材的公司買的到(都不貴) 如果你是不確定真空度不足的問題 我建議你可以先拿一顆機械pump 抽到極限後看是不是回壓很大 如果是的話 表示可能是有漏氣 把漏氣的問題解決以後再處理真空pump保養 因為前者的成本比較低 後者的成本很高 提供你參考看看 話說...原PO不會是買到和利聯合的設備了吧 不然其實打電話call一下原廠讓他們處理比較快XD ※ 引述《laiolina (小笨豬)》之銘言： : ※ 引述《play173173 (飛天金毛仔)》之銘言： : : 想問一下真空度沒原本哪麼高時 : : 對濺鍍時會有什麼影響 : : 要如何檢查是否是漏氣 : : 或著怎麼辦斷是因為真空pump老化所致 : 我搞過乾式蝕刻機.是真空設備所以我想概念都一樣 : 基本上真空度的高低會影響到腔體的潔淨度 : 當腔體的水分或是其他氣體濃度過高會產生沉積物汙染腔體 : 也會影響機台的效能 : 基本上判別漏氣要分成1.管線2.腔體兩部分 : 1. : 腔體應該會有控制壓力的閥門,在真空狀態下將控制閥關起.觀察腔體回壓狀態 : 回壓速度過快的話就要檢查腔體所有的o-ring,大部分都是劣外造成腔體漏氣 : 2.管線側漏也是保持管線真空狀態,將氦氣測漏儀裝pump入口前端 : 將腔體壓力控制閥關起來,從閥門後段管線逐一噴氦氣 : 假使管線有漏氣會吸入氦氣,造成pump前端的氦氣測漏儀作動 : 以上是我小小經驗供你參考 --

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