如果是sputter的真空度 会影响打出来的金属的品质 真空度差 有可能打出来的东西会容易被掀掉或是剥落(此处是以MEMS制程来说) 理由就如前面所说 主要还是污染物的问题 几种症状下可以怀疑是漏气 第一个是pump抽气抽不下去 (当然也有可能是pump本身换掉) 这时候最好是换另外一颗pump作测试 至於真空pump 理论上是一段时间应该送出去保养一次 久不保养就是会有老化的情形 判断的方式 大概还是看抽气效率 我所管理的设备 正常抽到工作压力是半小时 但如果久不保养大概抽个一个半小时都还抽不到 第二个就是抽完以後把阀门腔体全部关闭 发现回压的速度很快 此时可能的问题如同前面有人说过的是O-ring老化 也有可能是管路接缝漏气 或是阀门损坏的漏气 一般请厂商拖氦气测漏仪来的话 我的印象一次是3000以上 假如你猜的出来可能是哪里漏气 可以试试看更换O-ring(记得要涂上真空 grease) 或是把管路接合处的夹具夹紧 以上耗材 可以在一般专门做迫紧或是卖迫紧耗材的公司买的到(都不贵) 如果你是不确定真空度不足的问题 我建议你可以先拿一颗机械pump 抽到极限後看是不是回压很大 如果是的话 表示可能是有漏气 把漏气的问题解决以後再处理真空pump保养 因为前者的成本比较低 後者的成本很高 提供你参考看看 话说...原PO不会是买到和利联合的设备了吧 不然其实打电话call一下原厂让他们处理比较快XD ※ 引述《laiolina (小笨猪)》之铭言： : ※ 引述《play173173 (飞天金毛仔)》之铭言： : : 想问一下真空度没原本哪麽高时 : : 对溅镀时会有什麽影响 : : 要如何检查是否是漏气 : : 或着怎麽办断是因为真空pump老化所致 : 我搞过乾式蚀刻机.是真空设备所以我想概念都一样 : 基本上真空度的高低会影响到腔体的洁净度 : 当腔体的水分或是其他气体浓度过高会产生沉积物污染腔体 : 也会影响机台的效能 : 基本上判别漏气要分成1.管线2.腔体两部分 : 1. : 腔体应该会有控制压力的阀门,在真空状态下将控制阀关起.观察腔体回压状态 : 回压速度过快的话就要检查腔体所有的o-ring,大部分都是劣外造成腔体漏气 : 2.管线侧漏也是保持管线真空状态,将氦气测漏仪装pump入口前端 : 将腔体压力控制阀关起来,从阀门後段管线逐一喷氦气 : 假使管线有漏气会吸入氦气,造成pump前端的氦气测漏仪作动 : 以上是我小小经验供你参考 --

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