作者renefourier (拒喝百事可樂!)
看板Mechanical
標題Re: [請益] 真空度對濺鍍機的影響
時間Wed Oct 22 23:06:53 2008
※ 引述《play173173 (飛天金毛仔)》之銘言：
: 想問一下真空度沒原本哪麼高時
: 對濺鍍時會有什麼影響
: 要如何檢查是否是漏氣
: 或著怎麼辦斷是因為真空pump老化所致
那你應該要先知道濺度的原理
濺度一般是要靠惰性氣體去撞擊去做濺度的
所以真空只是將裡頭空氣抽掉～進行換氣～
但是～裡頭還是最好抽乾淨一點
避免其他氣體污染靶材或sample
要是有漏氣～是萬萬不可的
可以檢查所有管路與Chamber本身接縫處
最簡單的方式就是抽真空
然後將真空閥一段一段關，看哪個段漏氣
縮小範圍去找！
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