作者renefourier (拒喝百事可乐!)
看板Mechanical
标题Re: [请益] 真空度对溅镀机的影响
时间Wed Oct 22 23:06:53 2008
※ 引述《play173173 (飞天金毛仔)》之铭言：
: 想问一下真空度没原本哪麽高时
: 对溅镀时会有什麽影响
: 要如何检查是否是漏气
: 或着怎麽办断是因为真空pump老化所致
那你应该要先知道溅度的原理
溅度一般是要靠惰性气体去撞击去做溅度的
所以真空只是将里头空气抽掉～进行换气～
但是～里头还是最好抽乾净一点
避免其他气体污染靶材或sample
要是有漏气～是万万不可的
可以检查所有管路与Chamber本身接缝处
最简单的方式就是抽真空
然後将真空阀一段一段关，看哪个段漏气
缩小范围去找！
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◆ From: 222.76.133.32