作者SRDK (SRDK)
看板Master_D
標題[請益] 二氧化鈦蝕刻問題?
時間Tue Dec 21 15:39:18 2010
請問一下有人在做二氧化鈦鍍膜有遇到蝕刻的問題嗎???
我現在是用PECVD的方式鍍膜，前驅物為TTIP
鍍膜時電極管(玻璃)都會有一層白白的二氧化鈦
有甚麼方法可以把它除去???
我目前試過用37%的鹽酸~失敗
95%硫酸~失敗
用電鑽裝刷子直接刷~也失敗
如果不將玻璃清乾淨鍍膜速率會下降
所以想請問一下有沒有人遇到這樣的問題???
肛溫!!!
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◆ From: 140.127.180.63
※ 編輯: SRDK 來自: 140.127.180.63 (12/21 15:39)
1F：推 garyln:Try using HF? 12/21 19:35
2F：→ zarya120:30％雙氧水+98％硫酸 3：1還不乾淨的話再用30％雙氧水+38 12/21 23:25
3F：→ zarya120:%鹽酸 1：1 80度下去泡 12/21 23:26
4F：→ zarya120:第一個要加熱到90度 12/21 23:27
5F：推 ryan317:用HF玻璃就被吃掉啦!!! 12/24 11:41
6F：→ SRDK:我先試試看二樓的方法行不行 12/26 19:39