作者SRDK (SRDK)
看板Master_D
标题[请益] 二氧化钛蚀刻问题?
时间Tue Dec 21 15:39:18 2010
请问一下有人在做二氧化钛镀膜有遇到蚀刻的问题吗???
我现在是用PECVD的方式镀膜，前驱物为TTIP
镀膜时电极管(玻璃)都会有一层白白的二氧化钛
有甚麽方法可以把它除去???
我目前试过用37%的盐酸~失败
95%硫酸~失败
用电钻装刷子直接刷~也失败
如果不将玻璃清乾净镀膜速率会下降
所以想请问一下有没有人遇到这样的问题???
肛温!!!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.127.180.63
※ 编辑: SRDK 来自: 140.127.180.63 (12/21 15:39)
1F：推 garyln:Try using HF? 12/21 19:35
2F：→ zarya120:30％双氧水+98％硫酸 3：1还不乾净的话再用30％双氧水+38 12/21 23:25
3F：→ zarya120:%盐酸 1：1 80度下去泡 12/21 23:26
4F：→ zarya120:第一个要加热到90度 12/21 23:27
5F：推 ryan317:用HF玻璃就被吃掉啦!!! 12/24 11:41
6F：→ SRDK:我先试试看二楼的方法行不行 12/26 19:39