作者allencce ( )
看板Master_D
標題[請益] O2 plasma
時間Sat Jul 31 13:11:28 2010
各位版友大家好
我們實驗室買了一台plasma cleaner
原廠提供是用空氣來做電漿氣體
由於實驗需求想要改成O2 plasma
但卻發生了一些問題
氧電漿點不起來(看不到輝光)
由於機器是提供29W的RF POWER(本機型最大的功率值)
真空約抽至1*10^-1左右
不知道是我們真空抽不夠還是功率太小
想麻煩有經驗的人提供一下意見 謝謝
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◆ From: 140.128.194.201
1F：推 k3535604:POWER有點小喔,壓力可以在低一點 07/31 17:00
2F：推 p033520:壓力到^-2看看,purge 有確實做嗎? 08/01 20:25
3F：推 MrWind:先固定功率,壓力調低看看. 08/11 17:18