作者allencce ( )
看板Master_D
标题[请益] O2 plasma
时间Sat Jul 31 13:11:28 2010
各位版友大家好
我们实验室买了一台plasma cleaner
原厂提供是用空气来做电浆气体
由於实验需求想要改成O2 plasma
但却发生了一些问题
氧电浆点不起来(看不到辉光)
由於机器是提供29W的RF POWER(本机型最大的功率值)
真空约抽至1*10^-1左右
不知道是我们真空抽不够还是功率太小
想麻烦有经验的人提供一下意见 谢谢
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.128.194.201
1F：推 k3535604:POWER有点小喔,压力可以在低一点 07/31 17:00
2F：推 p033520:压力到^-2看看,purge 有确实做吗? 08/01 20:25
3F：推 MrWind:先固定功率,压力调低看看. 08/11 17:18