作者app13 (QQ)
看板Master_D
標題[請益]氧化物濺鍍率
時間Thu Dec 25 17:30:35 2008
請問有哪本書或哪篇文章有寫到ITO以及ZnO大概的濺鍍率？
或者那位板友有經驗
煩請告知一下
這兩種氧化物在同樣的製程參數下哪個濺鍍率較快？
非常感謝大家的回答！
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.174.32.131
1F：→ DOSHINE:據我所知 每台機器都不一樣= = 12/25 18:09
2F：推 konly:機台&靶材 兩大變數 根本無法完全套用別人的參數 12/25 19:26