作者app13 (QQ)
看板Master_D
标题[请益]氧化物溅镀率
时间Thu Dec 25 17:30:35 2008
请问有哪本书或哪篇文章有写到ITO以及ZnO大概的溅镀率？
或者那位板友有经验
烦请告知一下
这两种氧化物在同样的制程参数下哪个溅镀率较快？
非常感谢大家的回答！
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◆ From: 218.174.32.131
1F：→ DOSHINE:据我所知 每台机器都不一样= = 12/25 18:09
2F：推 konly:机台&靶材 两大变数 根本无法完全套用别人的参数 12/25 19:26