作者app13 (QQ)
看板Master_D
標題[請益]橢圓儀(Ellipsometer)
時間Sat Nov 8 17:58:36 2008
請問各位
若完全不知道自己試片的膜厚的情況下
用橢圓儀是否能夠量到精準的膜厚ꄊ
(膜厚是奈米等級的)
(因為有聽學長說用橢圓儀還是要大概知道一下大約的膜厚，這讓我覺得那橢圓儀就
不是一個量膜厚的好工具)
煩請有經驗的板友告知一下
謝謝！
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 59.105.45.188
1F：推 konly:有些橢圓儀需要先輸入大概n和d值...然後量出來後在修正 11/08 23:05
2F：→ konly:使用夾擊逼近法 直到量測出的n和d你輸入的n很接近時 就是了 11/08 23:07
3F：→ konly:如果能使用a-step量測剖面也更好 畢竟用光學儀器量的 其實.. 11/08 23:08
4F：→ konly:大多都是依據材料反射頻譜 折射率(n,k) 估算出來 不見得是 11/08 23:09
5F：→ konly:實際上的厚度 會因為使用錯誤的參數量測出錯誤的厚度出來 11/08 23:10
6F：→ konly:當初也是這樣 自己修正參數在配合a-step的值 把材料正確的 11/08 23:11
7F：→ konly:參數表弄出來..這樣使用光學儀器量出的膜後接近a-step量測的 11/08 23:11
8F：推 sausage0907:據我所知 有些材料 有雙折射率 (n,k)不好估 11/09 02:47
9F：→ sausage0907:他測出來的膜 有個周期循環 所以你要大概知道是多少 11/09 02:48
10F：推 sg2000:用反射率... 11/10 13:03
11F：→ hizerg:外國人的浪漫 11/26 18:09