作者app13 (QQ)
看板Master_D
标题[请益]椭圆仪(Ellipsometer)
时间Sat Nov 8 17:58:36 2008
请问各位
若完全不知道自己试片的膜厚的情况下
用椭圆仪是否能够量到精准的膜厚ꄊ
(膜厚是奈米等级的)
(因为有听学长说用椭圆仪还是要大概知道一下大约的膜厚，这让我觉得那椭圆仪就
不是一个量膜厚的好工具)
烦请有经验的板友告知一下
谢谢！
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 59.105.45.188
1F：推 konly:有些椭圆仪需要先输入大概n和d值...然後量出来後在修正 11/08 23:05
2F：→ konly:使用夹击逼近法 直到量测出的n和d你输入的n很接近时 就是了 11/08 23:07
3F：→ konly:如果能使用a-step量测剖面也更好 毕竟用光学仪器量的 其实.. 11/08 23:08
4F：→ konly:大多都是依据材料反射频谱 折射率(n,k) 估算出来 不见得是 11/08 23:09
5F：→ konly:实际上的厚度 会因为使用错误的参数量测出错误的厚度出来 11/08 23:10
6F：→ konly:当初也是这样 自己修正参数在配合a-step的值 把材料正确的 11/08 23:11
7F：→ konly:参数表弄出来..这样使用光学仪器量出的膜後接近a-step量测的 11/08 23:11
8F：推 sausage0907:据我所知 有些材料 有双折射率 (n,k)不好估 11/09 02:47
9F：→ sausage0907:他测出来的膜 有个周期循环 所以你要大概知道是多少 11/09 02:48
10F：推 sg2000:用反射率... 11/10 13:03
11F：→ hizerg:外国人的浪漫 11/26 18:09