作者app13 (QQ)
看板Master_D
標題[請益]SEM量膜厚
時間Mon Sep 15 00:29:23 2008
請問各位
我目前在基板上鍍了兩層不同材料的膜
請問能否利用SEM拍橫截面的剖面圖進而只用SEM分別量出各層的膜厚呢?
請有經驗的同學告知一下
非常感謝!
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.174.34.33
1F：推 altec6021:yep, u can! 09/15 01:07
2F：推 Narcissuss:除非很厚才可以 09/15 02:00
3F：推 altec6021:看儀器跟拍的功力吧 誰說奈米級拍不到 09/15 02:43
4F：推 jayouch:你需要多準確?? 要精準到一兩奈米可能頗難.... 09/15 02:58
5F：推 hizerg:可以用外國人的浪漫 橢圓儀 量看看 09/15 14:26
6F：推 apapig18:阿法-Step也不錯 09/15 14:40
7F：→ hizerg:樓上 alpha-step 要分別量出各層 有難度相當的難度 09/15 14:44
8F：→ hizerg:我是建議原PO啦 如果很有心 就做TEM試片吧 (逃XD) 09/15 14:45
9F：→ hizerg:TEM連超晶格都可以看的到 09/15 14:45
10F：→ hizerg:不過試片製作 會很想哭 要面跟面對貼 用G1膠黏 09/15 14:46
11F：→ hizerg:磨的時候 很想哭 ~~~~ 09/15 14:46
12F：推 forsu:SEM附掛軟體可量(一套價值不斐) 滑鼠拉線利用畫素換算長度 09/15 15:12
13F：推 Lagrange:兩層測一次 單層測一次 用減法就知道第二層 重點是準確度 09/15 16:52
14F：推 shuvaliya:請愛用場發... 04/13 14:48