作者app13 (QQ)
看板Master_D
标题[请益]SEM量膜厚
时间Mon Sep 15 00:29:23 2008
请问各位
我目前在基板上镀了两层不同材料的膜
请问能否利用SEM拍横截面的剖面图进而只用SEM分别量出各层的膜厚呢?
请有经验的同学告知一下
非常感谢!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.174.34.33
1F：推 altec6021:yep, u can! 09/15 01:07
2F：推 Narcissuss:除非很厚才可以 09/15 02:00
3F：推 altec6021:看仪器跟拍的功力吧 谁说奈米级拍不到 09/15 02:43
4F：推 jayouch:你需要多准确?? 要精准到一两奈米可能颇难.... 09/15 02:58
5F：推 hizerg:可以用外国人的浪漫 椭圆仪 量看看 09/15 14:26
6F：推 apapig18:阿法-Step也不错 09/15 14:40
7F：→ hizerg:楼上 alpha-step 要分别量出各层 有难度相当的难度 09/15 14:44
8F：→ hizerg:我是建议原PO啦 如果很有心 就做TEM试片吧 (逃XD) 09/15 14:45
9F：→ hizerg:TEM连超晶格都可以看的到 09/15 14:45
10F：→ hizerg:不过试片制作 会很想哭 要面跟面对贴 用G1胶黏 09/15 14:46
11F：→ hizerg:磨的时候 很想哭 ~~~~ 09/15 14:46
12F：推 forsu:SEM附挂软体可量(一套价值不斐) 滑鼠拉线利用画素换算长度 09/15 15:12
13F：推 Lagrange:两层测一次 单层测一次 用减法就知道第二层 重点是准确度 09/15 16:52
14F：推 shuvaliya:请爱用场发... 04/13 14:48