作者wayne32 (瑋)
看板Master_D
標題[請益]半導體製程問題
時間Mon Nov 6 14:44:48 2006
請問各位製程的高手
最近實驗室想用 熱CVD 通入磷 & 硼雜質造成缺陷
目前計畫利用 B(OCH3)3 & P(OCH3)3
有人知道這種材料哪家廠商有賣嗎?
或者是告訴小弟
還有哪些含硼 or 磷的氣體
可以用熱分解(1000度以下)
沉積在薄膜上呢??
謝謝各位
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.224.17
1F：推 airlon:strem或者Alfa的目錄找看看吧 11/06 18:33
2F：→ averson:try "Air products" 11/06 21:33