作者wayne32 (玮)
看板Master_D
标题[请益]半导体制程问题
时间Mon Nov 6 14:44:48 2006
请问各位制程的高手
最近实验室想用 热CVD 通入磷 & 硼杂质造成缺陷
目前计画利用 B(OCH3)3 & P(OCH3)3
有人知道这种材料哪家厂商有卖吗?
或者是告诉小弟
还有哪些含硼 or 磷的气体
可以用热分解(1000度以下)
沉积在薄膜上呢??
谢谢各位
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.118.224.17
1F：推 airlon:strem或者Alfa的目录找看看吧 11/06 18:33
2F：→ averson:try "Air products" 11/06 21:33