作者longyin (龍吟很難嗎?為什麼)
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標題Re: [新聞] 陸企DUV微影設備投產
時間Tue Jul 28 07:41:13 2026
※ 引述《l26921216 (很悠閒的生活~~)》之銘言:
: 陸企DUV微影設備投產
: https://udn.com/news/story/7333/9654508
: 2026-07-28 01:10 經濟日報/ 編譯陳律安/綜合外電
: 科技媒體The Information引述兩位知情人士報導,一家由中國大陸政府支持的企業,
已
: 啟動生產深紫外光(DUV)微影設備,若成功大量生產,可能影響微影設備大廠艾司摩
爾
: (ASML)的產品需求,拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露,這家總部位於上海的企業
,
: 已從其他陸企延攬深紫外光人才,包括一家政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科
技
: 。
其實浸沒式DUV的驗證機通過大陸幾大晶圓
廠驗證的消息去年就傳出來了,今年或明年
肯定能逐步開始量產。
但是大陸的duv研發企業有三家,是哪一家
或兩家,還是三家的duv通過驗證,目前還
不清楚。
而且ASML的DUV也有很多種,從1900系
列到2000細節,有七八種高中低端產品,
大陸初始的duv可能也就1900系列的能力,
還需要花幾年時間,根據晶圓廠的使用反饋
不斷改進,才能生產出更好的duv,預估
怎麼也要三五年時間。
現在美國關注的是EUV,路透社去年就從大
陸這邊搞到消息,說首台EUV的工程樣機
已經組裝好了。所以這幾個月美國政府在
拼命的懷疑是荷蘭ASML違反美國政府禁令
出賣了技術資料,本月上升到美國的部長級
高官質疑荷蘭,當然荷蘭政府和ASML堅決
否認。
當然,工程樣機,到技術完善的成品機
還有很多工作要做,還有企業內部的開發和
測試,以及進晶圓廠進行技術驗證等很多
工作,當年ASMl這一過程花了5年多時間,
經過了數個版本迭代,才生產出具備實用
能力的量產機。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 103.77.192.218 (香港)
※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Gossiping/M.1785195675.A.F85.html
※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:43:32
1F:→ s820912gmail: 台積電:106.1.224.80 07/28 07:42
2F:推 strikecbu: 0到1 跟1到N 還是有差啦1.163.141.174 07/28 07:43
根據各方面消息看,大陸的DUV應該是
已經完成了0-1的過程,正在1-10的過程,
後續還有10-100的過程。
而EUV還處於0-1的過程。工程樣機距離
可量產的實用機型還有距離。
※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:45:17
3F:推 yoshiringo: !!!124.218.155.200 07/28 07:45
4F:推 Diaw19: 偷技術,逆向,遲早會用出來,良率高不高 114.136.7.1 07/28 07:49
5F:→ Diaw19: 而已 114.136.7.1 07/28 07:49
6F:推 meatmm: 覺得精密加工的逆向沒那麼簡單 做的出來和 218.164.68.175 07/28 07:59
7F:→ meatmm: 真的能商業化還有段距離 不然高階工具機早 218.164.68.175 07/28 08:00
8F:→ meatmm: 該被中國製佔領了 曝光機要求精度在這之上 218.164.68.175 07/28 08:01
9F:推 peterwu4: 有沒有?美國就是這種拉基,要求ASML荷 61.222.220.37 07/28 08:36
10F:→ peterwu4: 蘭政府不要賣機台給中國,結果中國挖走 61.222.220.37 07/28 08:36
11F:→ peterwu4: ASML幾百號人還包含「首席」工程師,美 61.222.220.37 07/28 08:37
12F:→ peterwu4: 國什麼也沒做,事後還找你算帳… 61.222.220.37 07/28 08:38
13F:推 chosenone: 不用太早站隊,等真的做出來再說, 36.232.118.111 07/28 08:42
14F:→ chosenone: 不過真做出來那天可能台積榮光也到頂了 36.232.118.111 07/28 08:42
15F:→ chosenone: 之後可以慢慢下山了 36.232.118.111 07/28 08:43
16F:→ chosenone: 鄉民有沒有想好電子業下坡了,要換啥工 36.232.118.111 07/28 08:43
17F:→ chosenone: 作呢? 36.232.118.111 07/28 08:43
18F:推 peterwu4: 三八喔,還好久,而且台灣是中國的一部 61.222.220.37 07/28 09:12
19F:→ peterwu4: 分~ 吳鳳銜接上中國機台XD 61.222.220.37 07/28 09:14
20F:→ peterwu4: 美國不是想幹台GG的技術嗎? 台GG不能拒 61.222.220.37 07/28 09:14
21F:→ peterwu4: 絕還要自願(去美國設廠),結果它就故意 61.222.220.37 07/28 09:15
22F:→ peterwu4: 用中國製的蝕刻機~XD 讓美國很難偷 61.222.220.37 07/28 09:16