作者longyin (龙吟很难吗？为什麽)
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标题Re: [新闻] 陆企DUV微影设备投产
时间Tue Jul 28 07:41:13 2026
※ 引述《l26921216 (很悠闲的生活～～)》之铭言：
: 陆企DUV微影设备投产
: https://udn.com/news/story/7333/9654508
: 2026-07-28 01:10 经济日报／ 编译陈律安／综合外电
: 科技媒体The Information引述两位知情人士报导，一家由中国大陆政府支持的企业，
已
: 启动生产深紫外光（DUV）微影设备，若成功大量生产，可能影响微影设备大厂艾司摩
尔
: （ASML）的产品需求，拖累ASML盘中挫跌6%。消息人士透露，这家总部位於上海的企业
，
: 已从其他陆企延揽深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片设备制造新创上海宇量昇科
技
: 。
其实浸没式DUV的验证机通过大陆几大晶圆
厂验证的消息去年就传出来了，今年或明年
肯定能逐步开始量产。
但是大陆的duv研发企业有三家，是哪一家
或两家，还是三家的duv通过验证，目前还
不清楚。
而且ASML的DUV也有很多种，从1900系
列到2000细节，有七八种高中低端产品，
大陆初始的duv可能也就1900系列的能力，
还需要花几年时间，根据晶圆厂的使用反馈
不断改进，才能生产出更好的duv，预估
怎麽也要三五年时间。
现在美国关注的是EUV，路透社去年就从大
陆这边搞到消息，说首台EUV的工程样机
已经组装好了。所以这几个月美国政府在
拼命的怀疑是荷兰ASML违反美国政府禁令
出卖了技术资料，本月上升到美国的部长级
高官质疑荷兰，当然荷兰政府和ASML坚决
否认。
当然，工程样机，到技术完善的成品机
还有很多工作要做，还有企业内部的开发和
测试，以及进晶圆厂进行技术验证等很多
工作，当年ASMl这一过程花了5年多时间，
经过了数个版本迭代，才生产出具备实用
能力的量产机。
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 103.77.192.218 (香港)
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Gossiping/M.1785195675.A.F85.html
※ 编辑: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:43:32
1F：→ s820912gmail: 台积电：106.1.224.80 07/28 07:42
2F：推 strikecbu: 0到1 跟1到N 还是有差啦1.163.141.174 07/28 07:43
根据各方面消息看，大陆的DUV应该是
已经完成了0-1的过程，正在1-10的过程，
後续还有10-100的过程。
而EUV还处於0-1的过程。工程样机距离
可量产的实用机型还有距离。
※ 编辑: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:45:17
3F：推 yoshiringo: !!!124.218.155.200 07/28 07:45
4F：推 Diaw19: 偷技术，逆向，迟早会用出来，良率高不高 114.136.7.1 07/28 07:49
5F：→ Diaw19: 而已 114.136.7.1 07/28 07:49
6F：推 meatmm: 觉得精密加工的逆向没那麽简单 做的出来和 218.164.68.175 07/28 07:59
7F：→ meatmm: 真的能商业化还有段距离 不然高阶工具机早 218.164.68.175 07/28 08:00
8F：→ meatmm: 该被中国制占领了 曝光机要求精度在这之上 218.164.68.175 07/28 08:01
9F：推 peterwu4: 有没有？美国就是这种拉基，要求ASML荷 61.222.220.37 07/28 08:36
10F：→ peterwu4: 兰政府不要卖机台给中国，结果中国挖走 61.222.220.37 07/28 08:36
11F：→ peterwu4: ASML几百号人还包含「首席」工程师，美 61.222.220.37 07/28 08:37
12F：→ peterwu4: 国什麽也没做，事後还找你算帐… 61.222.220.37 07/28 08:38
13F：推 chosenone: 不用太早站队，等真的做出来再说， 36.232.118.111 07/28 08:42
14F：→ chosenone: 不过真做出来那天可能台积荣光也到顶了 36.232.118.111 07/28 08:42
15F：→ chosenone: 之後可以慢慢下山了 36.232.118.111 07/28 08:43
16F：→ chosenone: 乡民有没有想好电子业下坡了，要换啥工 36.232.118.111 07/28 08:43
17F：→ chosenone: 作呢？ 36.232.118.111 07/28 08:43
18F：推 peterwu4: 三八喔，还好久，而且台湾是中国的一部 61.222.220.37 07/28 09:12
19F：→ peterwu4: 分~ 吴凤衔接上中国机台XD 61.222.220.37 07/28 09:14
20F：→ peterwu4: 美国不是想干台GG的技术吗？ 台GG不能拒 61.222.220.37 07/28 09:14
21F：→ peterwu4: 绝还要自愿(去美国设厂)，结果它就故意 61.222.220.37 07/28 09:15
22F：→ peterwu4: 用中国制的蚀刻机~XD 让美国很难偷 61.222.220.37 07/28 09:16