作者l26921216 (很悠閒的生活～～)
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標題[新聞] 陸企DUV微影設備投產
時間Tue Jul 28 07:31:31 2026
陸企DUV微影設備投產
https://udn.com/news/story/7333/9654508
2026-07-28 01:10 經濟日報／ 編譯陳律安／綜合外電
科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由
中國大陸政府支持的企業，已
啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠艾司摩爾
（ASML）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露，這家總部位於上海的企業，
已從其他陸企延攬深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片設備製造新創
上海宇量昇科技
。
該報導指出，若這家企業成功大量生產DUV微影設備，可能取代艾司摩爾的設備。該公司
預計今年生產大約五台DUV微影設備，將交付給中芯國際、華虹宏力、長鑫存儲等大陸晶
片製造商；預料明年大約生產20台。
上海宇量昇科技、中芯國際、華虹宏力、長鑫存儲均未回應The Information的置評請求
。曝光機對半導體先進製程相當重要，原理是「光學微影」技術，簡單來說就是「在晶圓
上刻出精細的電路」，這是量產晶片時最重要的步驟。
DUV深紫外光微影系統，波長193nm，是當前半導體產業用於量產晶片的主力。就ASML來說
，提供浸潤式和乾式微影解決方案，幫助晶片製造商量產各種節點和技術製程。
EUV曝光機採用的光源是「極紫外光」，波長13.5nm，可以刻出更細緻的電路圖。
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如果真的產出是技術上的突破
雖然機台精度 穩定度 耐用度 還有待長時間測試考驗
但對對岸來說 是技術上獨立的里程碑
接下來應該是挑戰EUV了....
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1F：推 waterfall: 7奈米如果良率夠高，至少這三五年都很 114.38.254.30 07/28 07:36
2F：推 kets: 早晚的問題 125.228.191.24 07/28 07:36
3F：→ waterfall: 夠用了 114.38.254.30 07/28 07:36
4F：推 s213092921: 7奈米以上變白菜價 223.139.229.80 07/28 07:37
5F：推 strike519: 祖國一人獨立對抗美帝暴政223.137.214.205 07/28 07:38
6F：→ waterfall: 話說中國如果不擔心侵權問題，晶片設 114.38.254.30 07/28 07:38
7F：→ waterfall: 計才是最可怕的威脅 114.38.254.30 07/28 07:38
8F：→ tenka92417: 一般量產交付前都會給樣機試產調整， 42.70.77.68 07/28 07:39
9F：→ tenka92417: 照新聞所述樣機試產結果應該達標才會 42.70.77.68 07/28 07:39
10F：→ tenka92417: 啟動量產吧 42.70.77.68 07/28 07:39
11F：推 s820912gmail: 臺灣又輸了 106.1.224.80 07/28 07:39
12F：→ Eliad: AMSL沒差吧，本來就不賣中國了 101.10.5.77 07/28 07:48
13F：→ Eliad: 中國也沒有搶他的市場 101.10.5.77 07/28 07:48
14F：→ Eliad: 就算EUV量產也沒差，就各做各地，各賣個的 101.10.5.77 07/28 07:49
15F：推 machiusheng: 親鳥：支那已經進步到 不用手刻了 42.70.134.138 07/28 07:51
16F：→ tobbaco: 中國買ASML duv 可多的 180.177.200.23 07/28 07:51
17F：推 kluwer2021: 台積電7nm產能已經佔比70%早就是白菜 42.79.93.154 07/28 07:51
18F：→ kluwer2021: 了 42.79.93.154 07/28 07:51
19F：推 yafx4200p: 只有一家獨大 怎沒祭反托拉斯 還是什223.137.191.154 07/28 07:51
20F：→ yafx4200p: 麼法223.137.191.154 07/28 07:52
21F：推 s213092921: 12樓去查一下資料吧，ASML迄今還在出 223.139.229.80 07/28 07:54
22F：推 meatmm: ASML這類設備商機台賺的有限啦 靠的是後續 218.164.68.175 07/28 07:54
23F：→ HuntBear: 八成又是一個跟大飛機C919一樣騙補助，223.136.124.219 07/28 07:55
24F：→ HuntBear: 說是國產，結果重要零件都是歐美進口的223.136.124.219 07/28 07:55
25F：→ meatmm: 源源不斷的parts需求 不換就變磚+高賣很穩 218.164.68.175 07/28 07:56
26F：推 w08445566: 有質量當然買中國啊 然後7以上真的掰 223.138.61.239 07/28 08:02
27F：→ w08445566: 掰 223.138.61.239 07/28 08:03
28F：推 KSDenilson: 投產？研發？中文有問題嗎？ 101.8.36.50 07/28 08:13
29F：推 Iperfection: 牛逼 223.137.36.32 07/28 08:15
30F：→ w08445566: 二弟三地跌停 223.138.61.239 07/28 08:15
31F：推 js52666: 我們強大的祖國 118.170.11.232 07/28 08:15
32F：→ carkyoing: 台島：台島有台島積電 218.161.24.37 07/28 08:36
33F：→ atliberty: 能交貨到能穩定長時間生產還是有一段223.137.176.165 07/28 08:52
34F：→ atliberty: 距離，但能打破單一壟斷市場還是對整223.137.176.165 07/28 08:53
35F：→ atliberty: 體供應鏈有很正面的幫助223.137.176.165 07/28 08:53
36F：推 lyxiang: ASML全球壟斷說人家賺的有限XD 42.72.26.228 07/28 08:55
37F：推 sheepfeather: 193 imm 到現在都還是主力機台耶123.110.182.129 07/28 12:36
38F：→ FateOFP: 找到話題 崩盤剛好甩鍋給你 101.10.77.229 07/28 12:56