作者l26921216 (很悠闲的生活～～)
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标题[新闻] 陆企DUV微影设备投产
时间Tue Jul 28 07:31:31 2026
陆企DUV微影设备投产
https://udn.com/news/story/7333/9654508
2026-07-28 01:10 经济日报／ 编译陈律安／综合外电
科技媒体The Information引述两位知情人士报导，一家由
中国大陆政府支持的企业，已
启动生产深紫外光（DUV）微影设备，若成功大量生产，可能影响微影设备大厂艾司摩尔
（ASML）的产品需求，拖累ASML盘中挫跌6%。消息人士透露，这家总部位於上海的企业，
已从其他陆企延揽深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片设备制造新创
上海宇量昇科技
。
该报导指出，若这家企业成功大量生产DUV微影设备，可能取代艾司摩尔的设备。该公司
预计今年生产大约五台DUV微影设备，将交付给中芯国际、华虹宏力、长鑫存储等大陆晶
片制造商；预料明年大约生产20台。
上海宇量昇科技、中芯国际、华虹宏力、长鑫存储均未回应The Information的置评请求
。曝光机对半导体先进制程相当重要，原理是「光学微影」技术，简单来说就是「在晶圆
上刻出精细的电路」，这是量产晶片时最重要的步骤。
DUV深紫外光微影系统，波长193nm，是当前半导体产业用於量产晶片的主力。就ASML来说
，提供浸润式和乾式微影解决方案，帮助晶片制造商量产各种节点和技术制程。
EUV曝光机采用的光源是「极紫外光」，波长13.5nm，可以刻出更细致的电路图。
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如果真的产出是技术上的突破
虽然机台精度 稳定度 耐用度 还有待长时间测试考验
但对对岸来说 是技术上独立的里程碑
接下来应该是挑战EUV了....
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1F：推 waterfall: 7奈米如果良率够高，至少这三五年都很 114.38.254.30 07/28 07:36
2F：推 kets: 早晚的问题 125.228.191.24 07/28 07:36
3F：→ waterfall: 够用了 114.38.254.30 07/28 07:36
4F：推 s213092921: 7奈米以上变白菜价 223.139.229.80 07/28 07:37
5F：推 strike519: 祖国一人独立对抗美帝暴政223.137.214.205 07/28 07:38
6F：→ waterfall: 话说中国如果不担心侵权问题，晶片设 114.38.254.30 07/28 07:38
7F：→ waterfall: 计才是最可怕的威胁 114.38.254.30 07/28 07:38
8F：→ tenka92417: 一般量产交付前都会给样机试产调整， 42.70.77.68 07/28 07:39
9F：→ tenka92417: 照新闻所述样机试产结果应该达标才会 42.70.77.68 07/28 07:39
10F：→ tenka92417: 启动量产吧 42.70.77.68 07/28 07:39
11F：推 s820912gmail: 台湾又输了 106.1.224.80 07/28 07:39
12F：→ Eliad: AMSL没差吧，本来就不卖中国了 101.10.5.77 07/28 07:48
13F：→ Eliad: 中国也没有抢他的市场 101.10.5.77 07/28 07:48
14F：→ Eliad: 就算EUV量产也没差，就各做各地，各卖个的 101.10.5.77 07/28 07:49
15F：推 machiusheng: 亲鸟：支那已经进步到 不用手刻了 42.70.134.138 07/28 07:51
16F：→ tobbaco: 中国买ASML duv 可多的 180.177.200.23 07/28 07:51
17F：推 kluwer2021: 台积电7nm产能已经占比70%早就是白菜 42.79.93.154 07/28 07:51
18F：→ kluwer2021: 了 42.79.93.154 07/28 07:51
19F：推 yafx4200p: 只有一家独大 怎没祭反托拉斯 还是什223.137.191.154 07/28 07:51
20F：→ yafx4200p: 麽法223.137.191.154 07/28 07:52
21F：推 s213092921: 12楼去查一下资料吧，ASML迄今还在出 223.139.229.80 07/28 07:54
22F：推 meatmm: ASML这类设备商机台赚的有限啦 靠的是後续 218.164.68.175 07/28 07:54
23F：→ HuntBear: 八成又是一个跟大飞机C919一样骗补助，223.136.124.219 07/28 07:55
24F：→ HuntBear: 说是国产，结果重要零件都是欧美进口的223.136.124.219 07/28 07:55
25F：→ meatmm: 源源不断的parts需求 不换就变砖+高卖很稳 218.164.68.175 07/28 07:56
26F：推 w08445566: 有质量当然买中国啊 然後7以上真的掰 223.138.61.239 07/28 08:02
27F：→ w08445566: 掰 223.138.61.239 07/28 08:03
28F：推 KSDenilson: 投产？研发？中文有问题吗？ 101.8.36.50 07/28 08:13
29F：推 Iperfection: 牛逼 223.137.36.32 07/28 08:15
30F：→ w08445566: 二弟三地跌停 223.138.61.239 07/28 08:15
31F：推 js52666: 我们强大的祖国 118.170.11.232 07/28 08:15
32F：→ carkyoing: 台岛：台岛有台岛积电 218.161.24.37 07/28 08:36
33F：→ atliberty: 能交货到能稳定长时间生产还是有一段223.137.176.165 07/28 08:52
34F：→ atliberty: 距离，但能打破单一垄断市场还是对整223.137.176.165 07/28 08:53
35F：→ atliberty: 体供应链有很正面的帮助223.137.176.165 07/28 08:53
36F：推 lyxiang: ASML全球垄断说人家赚的有限XD 42.72.26.228 07/28 08:55
37F：推 sheepfeather: 193 imm 到现在都还是主力机台耶123.110.182.129 07/28 12:36
38F：→ FateOFP: 找到话题 崩盘刚好甩锅给你 101.10.77.229 07/28 12:56