作者fragmentwing (片翼碎夢)
看板Electronics
標題[問題] MOS基板的功用?
時間Fri Apr 16 20:57:45 2021
如題
今天突然想到，怎麼好像基板只有基板效應和給人家漏電流時會提到
難道其實基板是不必要的嗎?只記得以前好像有看到要電荷平衡啥的，於是從維基開始重讀
→要形成通道，是要靠閘極和源極之間的電位差
→配置:基板和閘極為MOS電容的兩個端點
所以要維持平行電位板結構的話，應該還是要有基板
可是我想想不對啊!那SOI和DG怎麼成的?這兩個架構都直接否定掉原本的電容結構啦
後來我又想，對齁!其實真正需要的，還是表面那層靜電感應造成的電荷形成的通道
所以如果製程允許，其實我可以讓body中間那塊負責電荷平衡
把body整個用閘極包起來，通道就分佈在整塊body的表面上
靜電感應的調整完全只交給閘極處理
示意圖(沒有畫氧化層)
https://imgur.com/iByn685
又想想，難道這就是GAA中奈米線的概念?
以前讀這些的時候是用閘極的控制能力去想的，沒有從電荷的角度去想過
所以不拿掉基板只是因為製程上太麻煩(耗錢)的緣故，其實它真的不必要?
不知道到這裡為止有沒有想對，因為想想即使是FDSOI的圖，下面仍然有一大塊的基板在
實在不知道在FDSOI的配置下，基板扮演的角色和在planar中有沒有不同
之前看的DG的圖好像就真的沒有看到基板了
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.139.143.146 (臺灣)
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1F：→ taipoo: 如果你有設計到PCB，基板就是拿來接大地共電流回流使用的 04/17 06:00
那為什麼dg好像就沒基本板了 他是用什麼手段去處理接地的問題?
2F：推 mmonkeyboyy: 基本是要的啊....回去念念元件 04/17 08:10
3F：→ mmonkeyboyy: 你沒有壓差 沒有 barrier是要關個鬼電流啊 04/17 08:11
4F：→ mmonkeyboyy: MOS的問題在如何關掉 04/17 08:11
5F：→ mmonkeyboyy: 你把中間那裡的band 畫畫 拿個medici切切看 04/17 08:13
6F：→ mmonkeyboyy: 另外基本的另一個用處是應力 太薄會彎或是碎 04/17 08:14
7F：→ mmonkeyboyy: 50um以下厚度問題就來了 04/17 08:14
8F：推 mmonkeyboyy: SOI就是自以為去掉漏電的路 結果就變熱能了啊XD 04/17 08:20
原來還有這問題 還以為只是因為製程比較貴而已
※ 編輯: fragmentwing (223.139.143.146 臺灣), 04/17/2021 11:02:17
※ 編輯: fragmentwing (223.139.143.146 臺灣), 04/17/2021 11:03:49
9F：→ fragmentwing: barrier，你是指Vth嗎?那不是body那一塊在負責的嗎 04/17 11:28
10F：推 mmonkeyboyy: = =" 你的 body? 不接東西嗎 (GAA我到是很久沒看了) 04/17 12:39
11F：→ mmonkeyboyy: 那個body不就連在基板上? 只是濃度不同但還是通啊 04/17 12:41
12F：→ mmonkeyboyy: 還是你講的基板跟我講的不一樣?? 你講的是最下面那 04/17 12:41
13F：→ mmonkeyboyy: 很厚一層 ? 04/17 12:42
14F：→ mmonkeyboyy: 那一層跟力學 價錢 材料 製程等比較有關 04/17 12:42
是這層沒錯 我是不是用substrate 表示會比較好?
body這個用詞不是每篇在講的都有看到 但我目前看到的指的是被finfet關在中間 也就是源極汲極中間 靠近閘極的部分會形成通道的那一小塊 下面連著substrate (以一般planar來說)如果是FDSOI是連氧化層
15F：→ mmonkeyboyy: 你長東西也要那一堆矽啊@_@~ 尤其是熱製程 04/17 12:43
16F：→ mmonkeyboyy: 全從上方丟下去的對一些東西不好做 04/17 12:43
17F：→ mmonkeyboyy: 你要用CMP從後面磨掉也不是說不行 但應力會彎 04/17 12:44
18F：→ mmonkeyboyy: 你要打孔做3D也是可以 這個限制更多了 04/17 12:44
19F：推 mmonkeyboyy: DG是啥double gate? 也是要連啊 GAA我就不熟了 04/17 12:51
20F：→ mmonkeyboyy: 你可以想成關一個水管 本來只能從上關 現在加上側 04/17 12:52
21F：→ mmonkeyboyy: 邊也能關 就是FinFet GAA就是一圈都能關 但中間還 04/17 12:53
可是這樣我就想不到都已經把它環一圈了還要怎麼接出來 之前看到的示意圖比較像是一整塊閘極挖個洞放body（奈米線形式）兩邊就接著汲極源極
22F：→ mmonkeyboyy: 是要有場的 不然場能float?? 04/17 12:54
23F：推 mmonkeyboyy: 最近的新device就是在討論是不要要把場加回來 04/17 13:06
24F：→ mmonkeyboyy: 雖然我不知道怎麼加就是了@_@~ 04/17 13:07
※ 編輯: fragmentwing (223.139.143.146 臺灣), 04/17/2021 15:03:06
※ 編輯: fragmentwing (223.139.143.146 臺灣), 04/17/2021 15:05:35
25F：推 mmonkeyboyy: body在原來FinFet裡就是沒接的 直接float 04/17 23:12
26F：→ mmonkeyboyy: 是後來大家又想把它帶回來 至於現代長怎樣我不知道 04/17 23:12
27F：→ mmonkeyboyy: GAA可能就沒有 直接用材料的特性deplete 做吧 04/17 23:13
28F：→ mmonkeyboyy: 很厚一層叫substrate 那一層主要是散熱 價錢等考量 04/17 23:14
29F：→ mmonkeyboyy: 尤其是你基材還是要si 還是要長得出來 所就放著 04/17 23:14
30F：→ mmonkeyboyy: 矽是一個很好很好的材料的 04/17 23:14
31F：→ mmonkeyboyy: 還有力學等 其他問題 拿掉你跟其他材料接 接面也 04/17 23:16
32F：→ mmonkeyboyy: 會有問題 所留著用高壓長 背面不要再磨掉就好了 04/17 23:17
33F：→ mmonkeyboyy: GAA我是真不懂啦 我猜omega型可能還容易點 04/17 23:17