作者fragmentwing (片翼碎梦)
看板Electronics
标题[问题] MOS基板的功用?
时间Fri Apr 16 20:57:45 2021
如题
今天突然想到，怎麽好像基板只有基板效应和给人家漏电流时会提到
难道其实基板是不必要的吗?只记得以前好像有看到要电荷平衡啥的，於是从维基开始重读
→要形成通道，是要靠闸极和源极之间的电位差
→配置:基板和闸极为MOS电容的两个端点
所以要维持平行电位板结构的话，应该还是要有基板
可是我想想不对啊!那SOI和DG怎麽成的?这两个架构都直接否定掉原本的电容结构啦
後来我又想，对齁!其实真正需要的，还是表面那层静电感应造成的电荷形成的通道
所以如果制程允许，其实我可以让body中间那块负责电荷平衡
把body整个用闸极包起来，通道就分布在整块body的表面上
静电感应的调整完全只交给闸极处理
示意图(没有画氧化层)
https://imgur.com/iByn685
又想想，难道这就是GAA中奈米线的概念?
以前读这些的时候是用闸极的控制能力去想的，没有从电荷的角度去想过
所以不拿掉基板只是因为制程上太麻烦(耗钱)的缘故，其实它真的不必要?
不知道到这里为止有没有想对，因为想想即使是FDSOI的图，下面仍然有一大块的基板在
实在不知道在FDSOI的配置下，基板扮演的角色和在planar中有没有不同
之前看的DG的图好像就真的没有看到基板了
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 223.139.143.146 (台湾)
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1F：→ taipoo: 如果你有设计到PCB，基板就是拿来接大地共电流回流使用的 04/17 06:00
那为什麽dg好像就没基本板了 他是用什麽手段去处理接地的问题?
2F：推 mmonkeyboyy: 基本是要的啊....回去念念元件 04/17 08:10
3F：→ mmonkeyboyy: 你没有压差 没有 barrier是要关个鬼电流啊 04/17 08:11
4F：→ mmonkeyboyy: MOS的问题在如何关掉 04/17 08:11
5F：→ mmonkeyboyy: 你把中间那里的band 画画 拿个medici切切看 04/17 08:13
6F：→ mmonkeyboyy: 另外基本的另一个用处是应力 太薄会弯或是碎 04/17 08:14
7F：→ mmonkeyboyy: 50um以下厚度问题就来了 04/17 08:14
8F：推 mmonkeyboyy: SOI就是自以为去掉漏电的路 结果就变热能了啊XD 04/17 08:20
原来还有这问题 还以为只是因为制程比较贵而已
※ 编辑: fragmentwing (223.139.143.146 台湾), 04/17/2021 11:02:17
※ 编辑: fragmentwing (223.139.143.146 台湾), 04/17/2021 11:03:49
9F：→ fragmentwing: barrier，你是指Vth吗?那不是body那一块在负责的吗 04/17 11:28
10F：推 mmonkeyboyy: = =" 你的 body? 不接东西吗 (GAA我到是很久没看了) 04/17 12:39
11F：→ mmonkeyboyy: 那个body不就连在基板上? 只是浓度不同但还是通啊 04/17 12:41
12F：→ mmonkeyboyy: 还是你讲的基板跟我讲的不一样?? 你讲的是最下面那 04/17 12:41
13F：→ mmonkeyboyy: 很厚一层 ? 04/17 12:42
14F：→ mmonkeyboyy: 那一层跟力学 价钱 材料 制程等比较有关 04/17 12:42
是这层没错 我是不是用substrate 表示会比较好?
body这个用词不是每篇在讲的都有看到 但我目前看到的指的是被finfet关在中间 也就是源极汲极中间 靠近闸极的部分会形成通道的那一小块 下面连着substrate (以一般planar来说)如果是FDSOI是连氧化层
15F：→ mmonkeyboyy: 你长东西也要那一堆矽啊@_@~ 尤其是热制程 04/17 12:43
16F：→ mmonkeyboyy: 全从上方丢下去的对一些东西不好做 04/17 12:43
17F：→ mmonkeyboyy: 你要用CMP从後面磨掉也不是说不行 但应力会弯 04/17 12:44
18F：→ mmonkeyboyy: 你要打孔做3D也是可以 这个限制更多了 04/17 12:44
19F：推 mmonkeyboyy: DG是啥double gate? 也是要连啊 GAA我就不熟了 04/17 12:51
20F：→ mmonkeyboyy: 你可以想成关一个水管 本来只能从上关 现在加上侧 04/17 12:52
21F：→ mmonkeyboyy: 边也能关 就是FinFet GAA就是一圈都能关 但中间还 04/17 12:53
可是这样我就想不到都已经把它环一圈了还要怎麽接出来 之前看到的示意图比较像是一整块闸极挖个洞放body（奈米线形式）两边就接着汲极源极
22F：→ mmonkeyboyy: 是要有场的 不然场能float?? 04/17 12:54
23F：推 mmonkeyboyy: 最近的新device就是在讨论是不要要把场加回来 04/17 13:06
24F：→ mmonkeyboyy: 虽然我不知道怎麽加就是了@_@~ 04/17 13:07
※ 编辑: fragmentwing (223.139.143.146 台湾), 04/17/2021 15:03:06
※ 编辑: fragmentwing (223.139.143.146 台湾), 04/17/2021 15:05:35
25F：推 mmonkeyboyy: body在原来FinFet里就是没接的 直接float 04/17 23:12
26F：→ mmonkeyboyy: 是後来大家又想把它带回来 至於现代长怎样我不知道 04/17 23:12
27F：→ mmonkeyboyy: GAA可能就没有 直接用材料的特性deplete 做吧 04/17 23:13
28F：→ mmonkeyboyy: 很厚一层叫substrate 那一层主要是散热 价钱等考量 04/17 23:14
29F：→ mmonkeyboyy: 尤其是你基材还是要si 还是要长得出来 所就放着 04/17 23:14
30F：→ mmonkeyboyy: 矽是一个很好很好的材料的 04/17 23:14
31F：→ mmonkeyboyy: 还有力学等 其他问题 拿掉你跟其他材料接 接面也 04/17 23:16
32F：→ mmonkeyboyy: 会有问题 所留着用高压长 背面不要再磨掉就好了 04/17 23:17
33F：→ mmonkeyboyy: GAA我是真不懂啦 我猜omega型可能还容易点 04/17 23:17