大家好， 想請問大家問題， 有一個 RIE 的裝置， 其中 RF 的 Generator 都會搭 Matching Box， 想問大家，為什麼 RF 都要搭 Matching Box， 我上網看的資料好像要跟機器內部的阻抗做搭配， 不然 RF 可能會對機器內部造成傷害， 不過我一直不太瞭解，為什麼要跟 Matching Box， 它是利用什麼原理，最好可以說明 Matching Box 的 tune 及 load 的功用， 請大家幫我解答。 另的一個問題， RIE 的裝置偶爾 run 到一半就停住了， 本人是猜測有可能是 Matchinb Box 跟機器連結 cable 有問題， 可是若是 cable 有問題的話，應該就是壞了就是壞了， 不會是這一次壞了，再測試一遍又好了。 結果經過一兩個月又發生 alarm， 本人的問題是， cable 有機會，這一次突然負載過大， 結果接著測試又好了，又慢慢累積負載，結果經過一兩個月才發生 alarm。 另外，有辦法可以測試 cable 是不是真的有老化或者有損壞的方法。 請大家幫我解答問題， 謝謝！ --

※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.226.182.43 ※ 文章網址: https://webptt.com/m.aspx?n=bbs/Electronics/M.1521559482.A.B2D.html